First-Nano System GmbH
2003年 創(chuàng)立于德國德累斯頓工業(yè)大學(Dresden University of Technology)
2008年 香港成立德國韋氏納米系統(tǒng)(香港)有限公司
2015年 上海成立德國韋氏納米系統(tǒng)(香港)有限公司中國代表處,負責中國區(qū)業(yè)務(wù)
德國韋氏納米系統(tǒng)成立以來,一直為客戶想的更多,Thinking more ?。?!
產(chǎn)品范圍:
薄膜沉積/Thin Film Deposition
E-Beam and Thermal Evaporation, PECVD, PLD, DLC, DC & RF Sputtering, Ion Beam Sputtering
刻蝕/Etching
RIE, DRIE, ICP, Ion Beam Milling, RIBE, Plasma, ALE
薄膜制程/Growth
ALD, PA-MOCVD, CNT, Graphene
表面處理/Surface Treatment
Ion Beam, PIII, Plasma, RTP
清洗/Cleaning
- Dry: Ion Beam, Plasma
- Wet: Megasonic, Brush, SC1, SC2, Piranha, O3DIW
其他/Other,
Device Testing System for Space Simulation, Heated Platens, Plasma Sources, Resist Stripping Systems
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