上海微高精密機械工程有限公司

     上海微高精密機械工程有限公司由中國電子科技集團公司第45研究所與上海微電子裝備有限公司于2003年在上海成立的合資公司。公司以中電集團第45研究所第一研究室技術(shù)團隊為基礎(chǔ)組建。45所第一研究室從“六五”起一直從事光刻機的研制開發(fā)工作，先后完成我國“六五”、“八五”、“九五”期間的1.5微米、0.8微米、0.5微米光刻機的研制任務(wù)，承擔并完成了國家、部委各項光刻機相關(guān)的研制開發(fā)任務(wù)，為我國...