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    包郵 關(guān)注:229

    供應(yīng)高純TiO2高純二氧化鈦陶瓷靶材 二氧化鈦靶

    產(chǎn)品品牌

    石久

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    按客戶要求定制

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    產(chǎn)       地:

    中國-北京市

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    品牌:石久

    型號:按客戶要求定制

    所屬系列:半導體加工設(shè)備耗材-鍍膜設(shè)備耗材-鍍源、靶材

     二氧化鈦,高純二氧化鈦靶

    規(guī)格:靶材,顆粒

    化學符號:TiO2 
    沸 點:2500-3000℃ 
    分 子 量:79.88 
    密 度:4.29g/cm3 
    熔 點:1650℃ 
    外 觀:白色、黑色 
    黑色TiO2導電率:70-80Ω/cm 
    10ˉ4真空下蒸發(fā)溫度為:2200℃ 
    蒸發(fā)方式:電子束反應(yīng)蒸發(fā)TiO 
    透明波段/nm:350-12000 
    折射率(波長/nm):2.2-2.4(550) 
    介電常數(shù)Σ:31-173 
    性 能:適于電子槍蒸發(fā),膜層致密,牢固,抗化學腐蝕.灰色料比白色料易蒸發(fā),但需充氧。也可用鎢舟,鉬舟加熱蒸發(fā),產(chǎn)生分解的吸收膜;不溶于水、稀酸、有機酸和稀堿溶液;但溶于熱濃硫酸、氫 氟酸和強堿; 
    應(yīng) 用:防反膜、冷光膜、分光膜、濾光片、高反膜,眼鏡膜。TiO2薄膜具有高的介電常數(shù),可用來制作混合集成電路用的薄膜電容器。一般用熱氧化法、陽極氧化法和反應(yīng)濺射法制備。 

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