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包郵 關(guān)注:259

金屬蒸發(fā)材料 蒸發(fā)鍍膜材料

產(chǎn)品品牌

領(lǐng)勢(shì)

庫(kù)       存:

100

產(chǎn)       地:

中國(guó)-河南省

數(shù)       量:

減少 增加
交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付

品牌:領(lǐng)勢(shì)

型號(hào):

所屬系列:半導(dǎo)體加工設(shè)備耗材-鍍膜設(shè)備耗材-鍍?cè)?、靶?/a>

金屬蒸發(fā)材料 蒸發(fā)鍍膜材料
通過(guò)加熱蒸發(fā)某種物質(zhì)使其沉積在固體表面,稱(chēng)為蒸發(fā)鍍膜。

蒸發(fā)物質(zhì)如金屬、化合物等置于坩堝內(nèi)或掛在熱絲上作為蒸發(fā)源,待鍍工件,如金屬、陶瓷、塑料等基片置于坩堝前方。待系統(tǒng)抽至高真空后,加熱坩堝使其中的物質(zhì)蒸發(fā)。蒸發(fā)物質(zhì)的原子或分子以冷凝方式沉積在基片表面。薄膜厚度可由數(shù)百埃至數(shù)微米。

蒸發(fā)源有三種類(lèi)型。電阻加熱源:用難熔金屬如鎢、鉭制成舟箔或絲狀,通以電流,加熱在它上方的或置于坩堝中的蒸發(fā)物質(zhì)電阻加熱源主要用于蒸發(fā)Cd、PbAg、AlCu、Cr、Au、Ni等材料;高頻感應(yīng)加熱源:用高頻感應(yīng)電流加熱坩堝和蒸發(fā)物質(zhì);電子束加熱源:適用于蒸發(fā)溫度較高的材料,即用電子束轟擊材料使其蒸發(fā)。

材料及符號(hào)

純度

規(guī)格

高純鉻(Cr)

4N

塊狀, 粉末

鋅(Zn)

4N

絲材,顆粒

釩(V)

4N

絲材,顆粒,粉末

鎢(W)

4N,5N

絲材,顆粒,粉末

鈦(Ti)

3N,4N

絲材,顆粒

碲(Te)

4N,5N

顆粒,粉末

鉭(Ta)

3N5,4N

絲材,顆粒,粉末

銀(Ag)

4N

絲材,顆粒

硅(Si)

4N,5N

顆粒,粉末

硒(Se)

4N

顆粒,粉末

錸(Re)

4N

顆粒,粉末

鉑(Pt)

4N

絲材,顆粒,粉末

鈀(Pd)

4N

絲材,顆粒,粉末

鈮(Nb)

3N5,4N

絲材,顆粒,粉末

鎳(Ni)

3N,4N

絲材,顆粒,粉末

釹(Nd)

3N5

絲材,顆粒

鉬(Mo)

3N5,4N

絲材,顆粒,粉末

錳(Mn)

3N,4N

顆粒,粉末

鎂(Mg)

4N

絲材,顆粒

鑭(La)

3N5,4N

顆粒

銥(Ir)

3N,4N

絲材,顆粒

銦(In)

5N

絲材,顆粒

石墨(C)

4N,5N

顆粒,粉末

金(Au)

3N,4N

絲材,顆粒

鍺(Ge)

4N,5N

顆粒

銅(Cu)

4N

絲材,顆粒

鈷(Co)

4N

絲材,顆粒

鉻(Cr)

2N5,3N

顆粒,碎塊,粉末

鈰(Ce)

3N5

絲材,顆粒

硼(B)

4N,5N

顆粒,粉末

鋁(Al)

4N,5N

絲材,顆粒

 

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