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氧化物蒸發(fā)鍍膜材料蒸發(fā)鍍膜材料
通過(guò)加熱蒸發(fā)某種物質(zhì)使其沉積在固體表面，稱為蒸發(fā)鍍膜。

蒸發(fā)物質(zhì)如金屬、化合物等置于坩堝內(nèi)或掛在熱絲上作為蒸發(fā)源，待鍍工件，如金屬、陶瓷、塑料等基片置于坩堝前方。待系統(tǒng)抽至高真空后，加熱坩堝使其中的物質(zhì)蒸發(fā)。蒸發(fā)物質(zhì)的原子或分子以冷凝方式沉積在基片表面。薄膜厚度可由數(shù)百埃至數(shù)微米。

蒸發(fā)源有三種類型。①電阻加熱源:用難熔金屬如鎢、鉭制成舟箔或絲狀,通以電流,加熱在它上方的或置于坩堝中的蒸發(fā)物質(zhì)電阻加熱源主要用于蒸發(fā)Cd、Pb、Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni等材料;②高頻感應(yīng)加熱源:用高頻感應(yīng)電流加熱坩堝和蒸發(fā)物質(zhì);③電子束加熱源:適用于蒸發(fā)溫度較高的材料，即用電子束轟擊材料使其蒸發(fā)。

材料及符號(hào)	純度	規(guī)格
二氧化鋯(ZrO2)	3N	白色或者黑色顆粒,壓片
氧化銦摻氧化鋅(IZO)	3N	顆粒，粉末，壓片
氧化鋁摻氧化鋅(AZO)	3N	白色顆粒/壓片
氧化鋅(ZnO)	3N	白色顆粒/壓片
五氧化二釩(V2O5)	3N	淡黃色顆粒
氧化鎢(WO3)	3N	黃色或淺藍(lán)色顆粒，壓片
二氧化鈦(TiO2)	4N	白色或灰色顆粒，壓片
五氧化三鈦(Ti3O5)	4N	黃色顆粒，壓片
三氧化二鈦(Ti2O3)	3N	黃色顆粒，壓片
五氧化二鉭(Ta2O5)	3N	灰白色或灰黑色顆粒，壓片
二氧化硅(SiO2)	3N	透明顆粒,白色壓片
一氧化硅(SiO)	4N	棕黑色顆粒,粉末
氧化鈧(Sc2O3)	4N	顆粒，粉末，壓片
氧化銻(Sb2O3)	3N	灰色顆粒，壓片
氧化釤(Sm2O3)	4N	灰色顆粒，壓片
氧化鐠(Pr6O11)	3N	深黃色顆粒
五氧化二鈮(Nb2O5)	4N	白色顆粒，壓片
一氧化鎳(NiO)	3N	綠色顆粒，壓片
氧化釹(Nd2O3)	3N	淺紫色顆粒，壓片
氧化鉬(MoO)	3N	顆粒，粉末，壓片
氧化鎂(MgO)	3N	白色顆粒
氧化镥(Lu2O3)	4N	顆粒，粉末，壓片
氧化鐠(Pr6O11)	3N	淺紫色顆粒，壓片
三氧化二銦(In2O3)	4N	顆粒，粉末，壓片
氧化釓(Gd2O3)	4N	顆粒，粉末，壓片
氧化銪(Eu2O3)	4N	顆粒，粉末，壓片
氧化鉺(Er2O3)	4N	顆粒，粉末，壓片
氧化鏑(Dy2O3)	4N	顆粒，粉末，壓片
氧化銅(CuO)	3N	棕黑色顆粒，壓片
三氧化二鉻(Cr2O3)	3N	綠色顆粒，壓片

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