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    鈦靶

    發(fā)貨期限:

    15 天天

    庫       存:

    100

    產(chǎn)       地:

    中國-湖南省

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價       格:

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    產(chǎn)品名

    鈦靶

    元素符號

    Ti

    純度

    3N, 4N, 4N5, 5N

    形狀

    平面靶, 旋轉(zhuǎn)靶

    工藝


    說明

    長沙鑫康可生產(chǎn)各種形狀的高純鈦靶,其主要應用于半導體和微電子行業(yè),受益于一些特別的加工手段,我們的鈦靶具備高密度,高純度的性質(zhì),且晶粒大小均勻一致。
     

    金相檢測

    我們生產(chǎn)過程的靈活性使我們能適當調(diào)整靶材的微觀結(jié)構(gòu)來達到你想要的效果,如果濺射靶材的晶粒大小均勻一致,用戶可以獲得良好的濺射速率和均勻鍍膜層。下圖是鈦濺射靶材的兩種典型的顯微金相檢測圖片,平均粒徑<50um。















     


    成分分析

    我們生產(chǎn)高純度的濺射靶材,它最重要的好處是在物理氣相沉積的過程中,能獲得具有優(yōu)異的導電率和顆粒最小化的薄膜。以下表格是4N5高純鈦濺射靶的成分分析證明書。
    分析方法:
    1,使用GDMS或ICP-OES對金屬元素進行分析;
    2,使用LECO進行氣體元素分析。


     

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    應用于半導體行業(yè)的相關同類產(chǎn)品:

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