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靈活的生產(chǎn)過程使我們能適當(dāng)?shù)恼{(diào)整靶材的微觀結(jié)構(gòu)來達(dá)到客戶想要的效果,如果濺射靶材的晶粒大小均勻一致,用戶可以獲得良好的濺射速率和均勻鍍膜層。下圖是鎳釩 (93/7wt%) 合金濺射靶材的顯微金相檢測(cè)圖片,平均粒徑<100μm。
我們生產(chǎn)高純度的鋁濺射靶材,它最大的好處是在物理氣相沉積的過程中,能獲得具有優(yōu)異的導(dǎo)電率和顆粒最小化的薄膜。下面的表格是3N5的高純鈷鎳釩(93/7wt%) 合金濺射靶的成分分析證明書。
分析方法:
1.使用GDMS 或ICP-OES 對(duì)金屬元素進(jìn)行分析;
2.使用LECO 進(jìn)行氣體元素分析。
此外,我司還可生產(chǎn)各種鎳合金靶材,如鎳鋁,鎳鈷,鎳銅,鎳釩,鎳鎢,鎳鉻硅等合金靶材,并可按照您對(duì)靶材成分,尺寸,晶粒度的不同要求來生產(chǎn)。如有任何產(chǎn)品需求,請(qǐng)與我們聯(lián)系。
購買之前,如有問題,請(qǐng)向我們咨詢