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無氧銅背板為使用最廣發(fā)的背板,其具有良好的導(dǎo)熱性和導(dǎo)電性,且易于加工。正常情況下銅背板可重復(fù)利用20次以上。
鉬背板適用于高溫綁定,然而銅背板在高溫下較易氧化或者變形。當(dāng)銅背板與靶材的熱膨脹系數(shù)不匹配時,鉬背板可與一些熱膨脹系數(shù)小的靶材匹配。
鋁背板具有同樣的導(dǎo)熱性,并可與靶材的熱膨脹系數(shù)匹配,且適用于擴散焊綁定。
不銹鋼背板通常適用于旋轉(zhuǎn)靶的背管,成本較低且可回收利用。
此外,我司也可生產(chǎn)銅鋅合金背板和銅鉻合金背板,若有任何需求,歡迎前來咨詢。
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