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陶瓷靶材
材料及符號 |
純度 |
規(guī)格 |
二氧化硅靶SiO2) |
3N5,4N,5N |
平面靶,圓柱靶,臺階靶,管狀靶 |
氧化鋅鋁靶(AZO) |
3N5,4N |
平面靶,旋轉(zhuǎn)靶 |
三氧化二鋁靶(Al2O3) |
4N |
平面靶,圓柱靶,臺階靶,管狀靶 |
三氧化二鉍靶(Bi2O3) |
3N,4N |
平面靶,圓柱靶,臺階靶,管狀靶 |
三氧化二鉻靶材(Cr2O3) |
3N |
平面靶,圓柱靶,臺階靶,管狀靶 |
氧化銅靶材(CuO) |
4N |
平面靶,圓柱靶,臺階靶,管狀靶 |
三氧化二銦靶材(In2O3) |
4N,5N |
平面靶,圓柱靶,臺階靶,管狀靶 |
氧化銦錫靶(ITO) |
4N |
平面靶,圓柱靶,臺階靶,管狀靶 |
氧化鎂靶(MgO) |
4N |
平面靶,圓柱靶,臺階靶,管狀靶 |
氧化鉬靶(MoO) |
3N |
平面靶,圓柱靶,臺階靶,管狀靶 |
三氧化二鉬靶(Mo2O3) |
3N |
平面靶,圓柱靶,臺階靶,管狀靶 |
氧化釹靶(Nd2O3) |
4N |
平面靶,圓柱靶,臺階靶,管狀靶 |
一氧化硅靶材(SiO) |
3N,4N |
平面靶,圓柱靶,臺階靶,管狀靶 |
一氧化鈦靶(TiO) |
3N,4N |
平面靶,圓柱靶,臺階靶,管狀靶 |
二氧化鈦靶(TiO2) |
3N,4N |
平面靶,圓柱靶,臺階靶,管狀靶 |
氧化鎢靶(WO3) |
3N,4N |
平面靶,圓柱靶,臺階靶,管狀靶 |
五氧化二釩靶(V2O5) |
3N |
平面靶,圓柱靶,臺階靶,管狀靶 |
氧化鋅靶(ZnO) |
3N,4N |
平面靶,圓柱靶,臺階靶,管狀靶 |
二氧化鋯靶(ZrO2) |
4N |
平面靶,圓柱靶,臺階靶,管狀靶 |
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