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    包郵 關(guān)注:338

    CMP拋光液

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

    半導(dǎo)體加工設(shè)備耗材-減薄拋光耗材-拋光液/粉

    產(chǎn)品品牌

    百特

    庫(kù)       存：

    100

    產(chǎn)       地：

    中國(guó)-山東省

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價(jià)       格：

    面議
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付

    品牌：百特

    型號(hào)：

    所屬系列：半導(dǎo)體加工設(shè)備耗材-減薄拋光耗材-拋光液/粉


    CMP拋光液

    一．應(yīng)用領(lǐng)域

      用于單晶硅、多晶硅、藍(lán)寶石、液晶玻璃、鏡頭等拋光。

     

      二．產(chǎn)品特點(diǎn)

       1．采用嚴(yán)格的粒徑控制工藝，具有純度高、粒徑均勻、易清洗、無(wú)橘皮、無(wú)霧化現(xiàn)象、拋光速率高、損傷層小等優(yōu)點(diǎn)。

       2．可直接稀釋使用，對(duì)拋光設(shè)備無(wú)腐蝕。

     

      三．性能指標(biāo)

    指標(biāo)名稱

    型號(hào)及標(biāo)準(zhǔn)

    CMP30

    CMP50

    CMP80

    CMP100

    CMP150

    粒徑（nm）

    20-40

    40-60

    60-90

    100-130

    140-170

    外觀

    乳白

    SiO2含量(重量)

    30~40%

    分散介質(zhì)

    水

    pH值

    2-11可調(diào)

    保質(zhì)期（月）

    ≥12

     

      四．使用方法

       1．可根據(jù)拋光操作條件用去離子水進(jìn)行稀釋。

       2．稀釋后，粗拋時(shí)調(diào)節(jié)pＨ至11左右，精拋時(shí)調(diào)節(jié)pH至9.5左右。pH調(diào)節(jié)可以用10%的鹽酸、醋酸、檸檬酸、KOH或氨水在充分?jǐn)嚢柘侣尤搿?/span>

       3．循環(huán)拋光可以用原液。

     

      五．包裝及儲(chǔ)存

       1．采用聚乙烯塑料桶包裝，主要包裝規(guī)格有25Kg、250Kg、1000Kg。

       2．避免曝曬，貯存溫度為5-40℃，低于0℃則產(chǎn)生凍膠而報(bào)廢。

       3．避免敞口長(zhǎng)期與空氣接觸。

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