晶振片的電極對(duì)膜厚監(jiān)控至關(guān)重要,目前,市場(chǎng)上提供三種標(biāo)準(zhǔn)電極材料:金、銀和合金。 金是最廣泛使用的傳統(tǒng)材料,它具有低接觸電阻,高化學(xué)溫定性,易于沉積。金最適合于低應(yīng)力材料,如金,銀,銅的膜厚控制。用鍍金晶振片監(jiān)控以上產(chǎn)品,即使頻率飄移1MHz,也沒有負(fù)作用。然而,金電極不易彎曲,會(huì)將應(yīng)力從膜層轉(zhuǎn)移到石英基片上。轉(zhuǎn)移的壓力會(huì)使晶振片跳頻和嚴(yán)重影響質(zhì)量和穩(wěn)定性。
銀是接近完美的電極材料,有非常低的接觸電阻和優(yōu)良的塑變性。然而,銀容易硫化,硫化后的銀接觸電阻高,降低晶振片上膜層的牢固性。
銀鋁合金晶振片最近推出一種新型電極材料,適合高應(yīng)力膜料的鍍膜監(jiān)控,如Si0,Si02, MgF2,Ti02。這些高應(yīng)力膜層,由于高張力或堆積的引力,經(jīng)常會(huì)使晶振片有不穩(wěn)定,高應(yīng)力會(huì)使基片變形而導(dǎo)致跳頻。 銀鋁合金通過塑變或流變分散應(yīng)力,在張力或應(yīng)力使基體變形前,銀鋁電極已經(jīng)釋放了這些應(yīng)力。這使銀鋁合金晶振片具有更長(zhǎng)時(shí)間,更穩(wěn)定的振動(dòng)。實(shí)驗(yàn)室的實(shí)驗(yàn)表明鍍Si02用 銀鋁合金晶振片比鍍金壽命長(zhǎng)400%。
晶振片的電極根據(jù)其外觀形狀分為單錨﹑雙錨﹑全雙錨,目前使用較多的為雙錨電極晶振片。