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SH-Q13拋光布廣泛應(yīng)用于硅(Si)、鍺(Ge)、砷化鎵(GaAs)、藍(lán)寶石、水晶等粗拋以及精密拋光。日本的信越半導(dǎo)體(硅片)、京瓷(藍(lán)寶石)、并木(藍(lán)寶石)、俄羅斯MonoCrystal(藍(lán)寶石)、等多家公司都在使用該拋光布。
物性說(shuō)明:
品名 (ARTICLE NO): SH-Q13
用途 (FOR USES) : CMP *粗研磨用
物理性質(zhì)各項(xiàng)參數(shù) ( PHYSICAL PROPERTIES )
項(xiàng)目 |
重量 |
厚度 |
密度 |
壓縮率 |
彈性率 |
硬度 |
絨長(zhǎng) |
開(kāi)口徑 |
單位 |
g/m2 |
mm |
g/m3 |
% |
% |
Asker C |
μm |
μm |
測(cè)定值 |
645 |
1.3 |
0.54 |
0.97 |
63 |
96 |
-- |
-- |
TEST METHOD |
JIS- K6328 |
JIS- K6328 |
JIS- K6328 |
JIS- L1096 |
JIS- L1096 |
JIS- K6301 |
OWN METHOD |
(物理性質(zhì)數(shù)據(jù)只是測(cè)定數(shù)值,不作為規(guī)格數(shù)值。)(The above is not standard, but measured figures.)產(chǎn)品特點(diǎn):
v 能提高研磨效率,研磨面的表面狀態(tài)如均勻的毛玻璃狀態(tài);
v 采用高硬度的不織布,使用壽命長(zhǎng);
v 可以用來(lái)金屬的研磨,并可以使用研磨砂,有相應(yīng)實(shí)績(jī);
v 可以根據(jù)用戶要求開(kāi)槽。
同比市面上較多的羅門(mén)哈斯SUBA系列拋光布具有以下優(yōu)點(diǎn):
v 拋光壽命更長(zhǎng)
v 價(jià)格更加低廉
v 性能與SUBA系列持平
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