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    包郵 關注:387

    三氟甲烷

    應用于半導體行業(yè):

    半導體原材料-氣體類原材料-蝕刻氣體

    庫       存:

    100

    產(chǎn)       地:

    全國

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價       格:

    面議
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    品牌:

    型號:

    所屬系列:半導體原材料-氣體類原材料-蝕刻氣體

    CHF3簡介

    產(chǎn)品名稱:三氟甲烷

    別稱:三氟甲/氟仿/氟里昂-23/HFC-23滅火劑

    分子式:CHF3

    管制類型:不管制

    儲    存:密封保存

    包裝:采用鋼瓶充裝,35KG/瓶,也可根據(jù)用戶要求提供不同包裝。

    產(chǎn)品介紹

    純度 雜質含量(ppm) 鋼瓶 閥門 備注
    99.9990%

    O2 ≤ 1.0, N2 ≤ 8.0, H2O ≤ 5.0, Acidity (as HF) ≤ 0.4,

    other Flons ≤ 10, CO2 ≤ 5.0

    47L CGA660 35KG/瓶
    類別:有害氣體
    毒性分級:低毒危險特性:不燃。受熱分解釋出劇毒的煙霧。

    三氟甲烷,又稱三氟甲,是一種無色、微味,不導電的氣體,是理想的鹵代烷替代物。

    三氟甲烷用途

    三氟甲烷,又稱HFC-23,是一種高壓液化汽,可用作制冷劑,替代CFC-13(R13)。也可作為電子工業(yè)等離子體化學蝕刻劑及氟有機化合物的原料。

    注意事項及應對措施

    本產(chǎn)品包裝鋼瓶為帶壓容器,運載中應避免撞擊、摔落。儲存于陰涼、通風的不燃氣體專用庫房。遠離火種、熱源。庫溫不宜超過30℃。應與氧化劑、易(可)燃物分開存放,切忌混儲。儲區(qū)應備有泄漏應急處理設備。

    泄漏應急處理

    迅速撤離泄漏污染區(qū)人員至上風處,并進行隔離,嚴格限制出入。建議應急處理人員戴自給正壓式呼吸器,穿一般作業(yè)工作服。盡可能切斷泄漏源。合理通風,加速擴散。漏氣容器要妥善處理,修復、檢驗后再用。

    防護措施

    呼吸系統(tǒng)防護:空氣中濃度料高時,建議佩戴自吸過濾式防毒面具(半面罩)。

    眼睛防護:一般不需特殊防護。

    身體防護:穿一般作業(yè)工作服。

    手防護:戴一般作業(yè)防護手套。

    其它:避免高濃度吸入。進入罐、限制性空間或其它高濃度區(qū)作業(yè),須有人監(jiān)護。

    急救措施

    吸入:迅速脫離現(xiàn)場至空氣新鮮處。保持呼吸道通暢。如呼吸困難,給輸氧。如呼吸停止,立即進行人工呼吸。就醫(yī)。

    滅火方法:本品不燃。切斷氣源。噴水冷卻容器,可能的話將容器從火場移至空曠處。

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