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無蠟拋光模板又叫吸附墊,背附墊,無蠟拋光墊,主要用于半導體硅晶體材料,寶石晶體片,硅片外延片等產(chǎn)品的單面拋光,屬于電子材料的拋光裝置。這是一種圓形的、由多層樹脂材料組成的復合結構、硅片用水(或研磨液)粘貼在鑲嵌層圓孔內(nèi)的吸附膜上。采用本實用新型,可對硅片,藍寶石進行無蠟拋光,其表面總厚度變化小于6μm,省時、省力,本實用新型制造簡單、成本低。
主要用于半導體硅晶體材料,寶石晶體片,硅片外延片等產(chǎn)品的單面拋光,屬于電子材料的拋光裝置。這是一種圓形的、由多層樹脂材料組成的復合結構、硅片用水(或研磨液)粘貼在鑲嵌層圓孔內(nèi)的吸附膜上。采用本實用新型,可對硅片,藍寶石進行無蠟拋光,其表面總厚度變化小于6μm,省時、省力,本實用新型制造簡單、成本低。
無蠟拋光模板在化學機械拋光制程中用于對晶片的固定;無蠟工藝在加工成本、生產(chǎn)效率都較有蠟工藝有更大的優(yōu)勢。XLD-SUNHIN所生產(chǎn)銷售的無蠟模板可以根據(jù)客戶拋盤大小定制;XLD-SUNHIN新型無蠟拋光模板采用高硬度模板框架,在藍寶石晶片拋光應用的競爭力超越其他廠家的模板。
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