服務(wù)熱線
4001027270
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§ 光罩尺寸:6 x 6 x 0.25 (吋) § 材質(zhì):ABS(ESD)、PC(ESD) § 支援SMIF標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械介面 § 適用於ASML/Nikon/Canon曝光機(jī) § 支援充氣功能 |
說明 |
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提供6吋光罩在製程站間傳送與儲存時的高效能防護(hù),支援OHT自動化傳載,並具備充氣功能可對光罩傳送盒內(nèi)部做微環(huán)境的溫溼度控制。 |
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規(guī)格 |
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§ 尺寸符合SEMI規(guī)範(fàn) § 支援OHT功能 § 支援RFID功能 |
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特色 |
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§ ESD靜電消散材質(zhì):避免光罩受靜電損害 § 與光罩接觸點(diǎn)皆為耐磨材質(zhì):有效減少Particle生成 |
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相關(guān)產(chǎn)品 |
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§ 6吋光罩盒 § RSP200 § MRSP § 光罩夾 § 光罩清洗機(jī) § 多功能光罩清洗機(jī) § 多功能載具清洗機(jī) § 光罩交換機(jī) |
家登以「製造服務(wù)業(yè)」自許,定位為「全球關(guān)鍵材料創(chuàng)新技術(shù)的整合服務(wù)商」,從傳產(chǎn)中的模具廠蛻變,躍升為世界級的半導(dǎo)體廠商,為快速有效地滿足客戶所有需求,家登發(fā)展出獨(dú)特的「創(chuàng)新服務(wù)模式」,以「Partner with H.E.A.R.T., grow with P.A.S.S.I.O.N.」為核心,採「協(xié)同創(chuàng)新Co-Creation」的創(chuàng)新模式,整合上下游客戶、供應(yīng)商,打造出兼具彈性與效率的服務(wù)平臺未來,我們將持續(xù)以這樣的堅(jiān)持,扮演「全球半導(dǎo)體領(lǐng)導(dǎo)廠商關(guān)鍵性材料創(chuàng)新技術(shù)的首選夥伴」。
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