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當(dāng)前位置: 首頁 » 耗材館 » 凈化間日常耗材 » 凈化間材料及檢測(cè) » FFU »FFU FFU層流罩系列
    包郵 關(guān)注:495

    FFU FFU層流罩系列

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):

    凈化間日常耗材-凈化間材料及檢測(cè)-FFU

    庫       存:

    10000

    產(chǎn)       地:

    中國(guó)-廣東省

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價(jià)       格:

    面議
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付

    品牌:

    型號(hào):

    所屬系列:凈化間日常耗材-凈化間材料及檢測(cè)-FFU

     

     

    FFU風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組

                                執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn):Q/320500BSK 010-2004

     

    使用/維護(hù)說明書

    歡迎使用卓為凈化FFU風(fēng)機(jī)過濾單元

    由衷地感謝您加入本公司的用戶隊(duì)伍!                    

    FFU?層流罩?通用 

    安裝?使用?維護(hù)說明書

    目    錄

    1. 概述

    1-1風(fēng)機(jī)過濾器單元 3

    1-2結(jié)構(gòu)及特點(diǎn) 4

    2. 重要安全事項(xiàng)

    2-1安裝使用環(huán)境 5

    2-2運(yùn)送與安裝 5

    2-3安裝?使用注意事項(xiàng) 5

    3. 使用說明

    3-1運(yùn)轉(zhuǎn)前點(diǎn)檢事項(xiàng) 6

    3-2運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)注意事項(xiàng) 6

    4. 維護(hù)說明

    4-1日常維護(hù) 7

    4-2定期維護(hù) 7

    4-3故障排除 8

    附  錄 9

    本說明書內(nèi)容包含風(fēng)機(jī)過濾器單元的安裝?使用?維護(hù)?方法,本機(jī)體是安裝在潔凈區(qū)域天花板上,藉由濾網(wǎng)捕捉室內(nèi)空氣中的塵埃,為能平穩(wěn)且安全地發(fā)揮機(jī)體性能,使用前請(qǐng)?jiān)敿?xì)閱讀此說明書。

     

    注:本公司為了提高產(chǎn)品質(zhì)量和性能,在不斷改進(jìn)和創(chuàng)新中,本產(chǎn)品

    如有更新或更改,我公司隨時(shí)更改本說明書,恕不另行通知。

     

     

    1.概述

    1-1風(fēng)機(jī)過濾器單元

    風(fēng)機(jī)過濾器單元(FFU)是一種自帶動(dòng)力、具有過濾功效的模塊化的末端送風(fēng)裝置。

    風(fēng)機(jī)從FFU頂部將空氣吸入并經(jīng)HEPA過濾,過濾后的潔凈空氣在整個(gè)出風(fēng)面以0.45m/s±20%的風(fēng)速均勻送出。廣泛用于半導(dǎo)體、液晶制造業(yè)、電子、生物制藥.等行業(yè)。

    ●使用環(huán)境

    ?周圍溫度:5℃~40℃

    ?濕度:低于85%RH(沒有濕氣凝結(jié)狀態(tài)下)

    ?周圍空氣:一般室內(nèi)空氣

    ?清凈度:100-10級(jí)

    ?請(qǐng)避免連續(xù)反復(fù)ON/OFF操作機(jī)體

     

    如果在未符合上述條件的環(huán)境下使用風(fēng)機(jī)濾網(wǎng)機(jī)組,將會(huì)影響制品性能,并可能會(huì)發(fā)生電氣短路現(xiàn)象,造成電氣部件損壞,縮短制品使用壽命。

    為能安全且有效地使用風(fēng)機(jī)過濾器單元請(qǐng)參閱第4頁的〝重要安全事項(xiàng)〞。

    圖解:


    1-2結(jié)構(gòu)及特點(diǎn)

    (1) 主要部件

    圖1  標(biāo)準(zhǔn)品范例 

     

     

    (2) 表1. 部件明稱及功能(參考圖1)

     

    No.

    部 品 名 稱

    功            用

    備  注

    1

    初效濾網(wǎng)

    可有效攔截粒徑≥5um的灰塵

    根據(jù)環(huán)境可用可不用

    2

    外殼

    設(shè)備外殼

    可選優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑,鍍鋅鋁鋼板,鋁板及不銹鋼板等材料

    3

    把手

    方便搬運(yùn)

     

    4

    吊環(huán)

    機(jī)體吊裝

    選配件

    5

    導(dǎo)流消聲裝置

    引導(dǎo)氣流及消除噪聲

     

    6

    風(fēng)機(jī)系統(tǒng)

    為設(shè)備提供動(dòng)力

     

    7

    高效濾網(wǎng)

    可過濾微小粒徑的灰塵

    效率99.99%@ 0. 3um

    可選各種效率的濾網(wǎng)

    8

    控制系統(tǒng)

    調(diào)速及開關(guān)電源

     

     


    2.重要安全事項(xiàng)

     

    不當(dāng)使用風(fēng)機(jī)過濾器單元組將會(huì)造成制品性能降低,使用時(shí)請(qǐng)務(wù)必遵守下列事項(xiàng):

    2-1 安裝使用環(huán)境

    ●風(fēng)機(jī)過濾器單元的安裝應(yīng)遠(yuǎn)離加熱器、火爐或其它熱源。

    ● 設(shè)置風(fēng)機(jī)過濾器單元場(chǎng)所不可放置易燃物,以免發(fā)生火災(zāi)。

    ● 請(qǐng)勿在機(jī)體附近使用具爆炸性或揮發(fā)性的化學(xué)物品,如果機(jī)體吸入這些化學(xué)物品將有可能會(huì)導(dǎo)致火災(zāi)或爆炸等事故發(fā)生。

    ● 請(qǐng)勿于機(jī)體附近使用含硫酸、鹽酸、漂白劑及其它具腐蝕性化學(xué)藥品,如果使用這些化學(xué)藥品將有可能會(huì)導(dǎo)致機(jī)體腐蝕及損壞。

     

    2-2 運(yùn)送與安裝

    ● 請(qǐng)?jiān)陲L(fēng)機(jī)過濾器單元包裝完好的狀態(tài)下搬運(yùn)制品,搬運(yùn)時(shí)務(wù)必保持水平,如果使用輕便推車等工具運(yùn)送時(shí),請(qǐng)選用車臺(tái)超過機(jī)體包裝寬度的推車。

    ● 機(jī)體安裝后,機(jī)體上方至少須預(yù)留30公分以上的空間,以利將來機(jī)體維修,未預(yù)留足夠的維修空間,機(jī)體將無法進(jìn)行維修及部件更換。

    ● 試運(yùn)轉(zhuǎn)前,請(qǐng)先拆除吸入口上及均流板下附著的保護(hù)膜。

     

    2-3 安裝?使用注意事項(xiàng)

    ●風(fēng)機(jī)過濾器單元安裝于無塵室時(shí),請(qǐng)務(wù)必遵守下列指示

    ?當(dāng)進(jìn)入無塵室時(shí)

    請(qǐng)穿著防塵衣以免攜帶灰塵進(jìn)入室內(nèi)。

    請(qǐng)以酒精清理工具以免攜帶灰塵進(jìn)入室內(nèi)。

    請(qǐng)以酒精清理衣柜未保護(hù)處以免攜帶灰塵進(jìn)入室內(nèi)。

    點(diǎn)檢時(shí)請(qǐng)使用防塵紙及原子筆作記錄以免再產(chǎn)生灰塵。

     

    ● 切勿直接重壓風(fēng)機(jī)過濾器單元機(jī)體,以免造成機(jī)體變形。

     

    ● 請(qǐng)勿以沾濕的手操作機(jī)體,以免發(fā)生觸電危險(xiǎn)。

     

    ● 請(qǐng)勿遮蔽機(jī)體吸入口及吹出口,機(jī)體吸入口及吹出口被遮蔽,將導(dǎo)致機(jī)體性能無法正常發(fā)揮,造成機(jī)體功能異?;螂姎獠考p壞。

     

    ● 實(shí)施第三種接地工事,以避免電擊產(chǎn)生之危險(xiǎn)。

     

    3.安裝使用

     

    3-1運(yùn)轉(zhuǎn)前檢查事項(xiàng)

    運(yùn)轉(zhuǎn)前請(qǐng)先檢查下列注意事項(xiàng):

    ● 機(jī)體外部電源是否連接,電源供應(yīng)是否妥當(dāng)。

    ● 機(jī)體接地工事是否已實(shí)施。

    ● 機(jī)體上方空氣吸入口及下方濾網(wǎng)的保護(hù)膜是否已取下。

    3-2運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)注意事項(xiàng)

    (1) 開始運(yùn)轉(zhuǎn)

    ● 當(dāng)電源開啟后,機(jī)體即開始運(yùn)轉(zhuǎn)。

    ● 機(jī)體運(yùn)轉(zhuǎn)后請(qǐng)確認(rèn)是否有異?,F(xiàn)象。

    當(dāng)有下列情形發(fā)生,機(jī)體無法正常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí),請(qǐng)向經(jīng)銷服務(wù)人員反映。

    ● 機(jī)體內(nèi)部有異物,機(jī)體離心風(fēng)扇無法正常旋轉(zhuǎn)。

    ● 機(jī)體內(nèi)部電線脫落,接頭松脫。

    ● 機(jī)體內(nèi)部電氣部件,如過電源插頭、馬達(dá)損壞。

    (2) 停止運(yùn)轉(zhuǎn)

    ● 運(yùn)轉(zhuǎn)后如發(fā)現(xiàn)異?,F(xiàn)象,請(qǐng)即切斷電源,停止機(jī)體運(yùn)轉(zhuǎn)。

     

     

    4.維修?點(diǎn)檢

     

    ● 自購(gòu)買日起進(jìn)行定期檢查,請(qǐng)勿自行檢查,以免造成觸電或火災(zāi)等事故發(fā)生。

    ● 除了維修人員外,請(qǐng)勿自行拆解、修理或變更規(guī)格,以免造成觸電或火災(zāi)的發(fā)生。

    ● 當(dāng)更換濾網(wǎng)等部件時(shí),請(qǐng)注意不要損壞濾紙。

    ● 維修?點(diǎn)檢時(shí),請(qǐng)務(wù)必先切斷電源,停止機(jī)器運(yùn)轉(zhuǎn)后再實(shí)施,以免發(fā)生觸電或傷害危險(xiǎn)。

    ● 當(dāng)安裝?維修?點(diǎn)檢完成后,在機(jī)體起動(dòng)前,請(qǐng)確定機(jī)體基礎(chǔ)穩(wěn)固。

    4-1日常維護(hù)

    每天工作開始之前請(qǐng)依表2.點(diǎn)檢下列各項(xiàng),當(dāng)發(fā)現(xiàn)有不正常的情形,立即切斷電源并采取改正措施。

    表2. 日常維護(hù)

    NO.

    點(diǎn)檢專案

    判斷標(biāo)準(zhǔn)

    1

    離心風(fēng)扇及馬達(dá)

    ?離心風(fēng)扇必須旋轉(zhuǎn)平順,沒有產(chǎn)生異常聲音,若聽到異常聲音,請(qǐng)確認(rèn)送風(fēng)機(jī)內(nèi)有無異物以及馬達(dá)軸承的聲音是否異常,若馬達(dá)有問題,請(qǐng)更換馬達(dá)。

    2

    濾網(wǎng)

    ?濾網(wǎng)表面有無損傷、污點(diǎn)、骯臟….等

    3

    機(jī)體外觀

    ?機(jī)體外觀有無損傷

    4-2定期維護(hù)

    使用風(fēng)機(jī)過濾器單元一段時(shí)間后,因使用環(huán)境及使用狀況之差異,為了防止意外及確保風(fēng)機(jī)過濾器單元的正常運(yùn)轉(zhuǎn),請(qǐng)務(wù)必實(shí)施下列定期點(diǎn)檢。

    4-2.1定期維護(hù)

    (1)定期維護(hù)項(xiàng)目
    請(qǐng)依表3.所示,對(duì)風(fēng)機(jī)過濾器單元實(shí)施定期點(diǎn)檢,當(dāng)部件壽命已至?xí)r,請(qǐng)立即進(jìn)行部件更換。(部件壽命指一般使用狀況下之壽命,會(huì)因使用環(huán)境及使用狀況而有所差異)。

    (2)當(dāng)由于不可抗力(如地震、電擊…..等)或化學(xué)藥品的泄漏(腐蝕氣體…..等)意外發(fā)生,停機(jī)再啟動(dòng)后,請(qǐng)務(wù)必實(shí)施相同的檢查。

     

    表3. 定期維護(hù)項(xiàng)目

     

    部件位置

    征兆及可能原因

    評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn),確認(rèn)點(diǎn)

    檢查頻率

    部件壽命

    馬達(dá)

    (1)軸承損壞而使馬達(dá)運(yùn)轉(zhuǎn)不平順或死鎖。

    (2)絕緣不良造成過熱、過載導(dǎo)致線圈燒損。

    (3)電源連接或端子的絕緣不良,而造成異常發(fā)熱、接地錯(cuò)誤、層間短路…..等。

    ?確認(rèn)馬達(dá)有無異音、振動(dòng)及味道,用耳朵確認(rèn)軸承有無異常聲音。

    ?絕緣阻抗須大于5MΩ以上。

    ?檢查電纜線及端子有無破損或銹蝕,更換不良部件。

    一年一次

    5年以上

    離心風(fēng)扇

    (1)因灰塵迭積或破損使得運(yùn)轉(zhuǎn)不平衡而損壞。

    ?檢查離心風(fēng)扇有無異音、振動(dòng)及破損,更換不良部件。

    一年一次

    5

    其它的電氣部件及配線材料

    (1)絕緣不良,端子螺絲松脫而造成過熱、短路或燒損。

    (2)配線表皮破損而造成短路、漏電或損傷。

    ?檢查有無過熱、銹蝕、暴露的導(dǎo)體,配線表皮破損…..等。

    ?絕緣阻抗須大于5MΩ以上。

    ?鎖緊端子螺絲(每三年一次)更換不良部件。

    一年一次

    5

    濾網(wǎng)

    (1)因阻塞而造成風(fēng)速減低。

    (2)因化學(xué)藥品而造成濾網(wǎng)材質(zhì)、迫緊、阻隙材不良而使灰塵泄漏。

    (3)因外部熱源造成濾網(wǎng)材質(zhì)不良。

    ?目視檢查濾網(wǎng)材質(zhì)、迫緊、阻隙有無刮傷、褪色、變形。

    ?檢查泄漏更換不良部件。

    一年一次

     (視不同使用場(chǎng)所需要而定)

    外箱

    及其它組件

    因化學(xué)藥品而使部件腐蝕或生銹產(chǎn)生灰塵。

     

    ?目視檢查部件有無不良、褪色….等。

    一年一次

    其它部件8

     

    表4消耗性部件的更換期間 ( 我司建議 )

     

    部  品

    更 換 期 間

    濾網(wǎng)

    1-2(室內(nèi)清凈度100,000級(jí)的場(chǎng)所)  

    初效濾網(wǎng)

    3個(gè)月(不同場(chǎng)所而有所區(qū)別)

    馬達(dá)

    5年以上

    注:濾網(wǎng)更換期間會(huì)因不同使用場(chǎng)所的差異而有所不同。

    4.2.2點(diǎn)檢完成

    點(diǎn)檢完成后,清潔工作場(chǎng)所及確認(rèn)風(fēng)機(jī)過濾器單元在正常運(yùn)轉(zhuǎn)狀況;保留點(diǎn)檢報(bào)告,當(dāng)部件更換或機(jī)體更新時(shí)作為參考。

    4-3故障排除

    ?若有以下現(xiàn)象發(fā)生,連絡(luò)本公司并告知機(jī)身編號(hào)、機(jī)型、電壓及不良現(xiàn)象(盡可能詳細(xì)),然后慎重的調(diào)查問題的起因及采取適合的改善措施。

    現(xiàn)    象

    可  能  原  因

    改  善  措  施

    離心風(fēng)扇不運(yùn)轉(zhuǎn)

    ?電源未打開

    ?馬達(dá)束心

    ?電器件損壞

    ?馬達(dá)不良

    ?打開電源

    ?拆除外表的異物

    ?更換電器件

    ?更換馬達(dá)

    離心風(fēng)扇產(chǎn)生異常者(運(yùn)轉(zhuǎn)中)

    ?馬達(dá)外殼與離心風(fēng)扇接觸

    ?連絡(luò)經(jīng)銷商及采取適合的改善措施

     

    ● 非服務(wù)技術(shù)人員請(qǐng)勿拆解、修理或修改風(fēng)機(jī)過濾器單元,以避免造成嚴(yán)重的意外,例如觸電或火災(zāi)。

     

    附錄

     

    易損件規(guī)格表:

     

    序號(hào)

    名稱

    規(guī)格型號(hào)

    單位

    單臺(tái)數(shù)

    備注

    1

    風(fēng)機(jī)

    M-R風(fēng)機(jī)

    臺(tái)

    1

     保修期:三年

    2

    電容

    4uf,500V

    1

     

    3

    玻纖無隔板過濾器

     

    個(gè)

    1

    99.99%@o.3um

    4

    初效過濾器

     

    個(gè)

    1

     可清洗

    ● 當(dāng)需要更換服務(wù)備品時(shí),請(qǐng)務(wù)必依本說明書中表1.所列之部件名稱提供予服務(wù)人員。

    ● 任何未經(jīng)認(rèn)可之代用品,不僅可能會(huì)影響風(fēng)機(jī)過濾器單元的性能,同時(shí)可能造成火災(zāi)、觸電或其它危險(xiǎn)。

     

     東莞市卓為空調(diào)機(jī)電設(shè)備有限公司是在珠三角地區(qū)專業(yè)從事無塵凈化車間、中央空調(diào)工程的設(shè)計(jì)與施工服務(wù)的專業(yè)凈化工程公司。卓為凈化在電子制造、生物制藥、印刷包裝、食品日化、光電光學(xué)、醫(yī)療衛(wèi)生等行業(yè)中設(shè)計(jì)與施工了無數(shù)經(jīng)典工程,獲得客戶的高度認(rèn)可。

     

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