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磷酸 |
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化學(xué)式: |
H3PO4 |
分子量: |
97.99 |
執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn): |
GB/T 28159-2011 |
性狀: |
無色透明粘稠狀液體,中等強(qiáng)度三元酸。 |
用途: |
用于集成電路制造工藝中濕法蝕刻工序氮化硅和氮氧化硅膜的去除。 |
包裝貯存: |
200L電子級(jí)包裝桶(330公斤/桶)。貯存于陰涼、干燥、通風(fēng)的專用庫房?jī)?nèi)。應(yīng)與有毒、有害化學(xué)品分開存放。 |
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