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表面:單拋片、雙拋片、研磨片、腐蝕片、切割片
晶向:<100> \ <111>\ <110>\ <211>\ <511> 以及各種偏角度的硅片
厚度: 100um 200um 300um 400um 500um 1mm 5mm等各種厚度,厚度公差+-10um,
TTV< 10um或按客戶要求,粗糙度<0.2nm
導(dǎo)電類型: N-type、 P-type、undope (本征高阻)
單晶方式: 直拉(CZ)、區(qū)熔(FZ)、NTD(中照)
電阻率: 重?fù)阶畹涂蛇_(dá) <0.001 ohm.cm, 低摻常規(guī)1~10 ohm.com ,
中照常規(guī)500~800ohm.cm,區(qū)熔本征:> 1000 ohm.cm, >3000 ohm.cm,
>5000 ohm.cm,>8000 ohm.cm,>10000 ohm.cm
其他規(guī)格可以完全按照客戶要求定制。
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