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非標(biāo)準(zhǔn)式探針座定制
根據(jù)探針臺(tái)使用戶特殊使用情況,改造添加探針裝置,立柱式安裝結(jié)構(gòu),適合于DC量測(cè)及樣品夾持對(duì)準(zhǔn)等操作
產(chǎn)品規(guī)格
*基底尺寸Foot dimension 70 x 80mm
*XY軸行程范圍Travel range X,Y 20mm
*Z軸行程范圍Travel range Z 15mm
*分辨率Feature Resolution 5um
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