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SURFIN XXX-5是開發(fā)用於拋光加工硅晶片、砷化鎵和其他半導(dǎo)體晶片的無紡布型拋光墊。 為了在高壓力下使用,這種類型的拋光墊具有壓縮和適當(dāng)比例的多孔特性的理想組合。 由於這些特點(diǎn),使得拋光的晶片時(shí)能提高表面平坦度,並且提昇拋光後的高精度。 此外,該產(chǎn)品具有優(yōu)異的持久性能。
SURFIN 019-3是發(fā)泡麂皮類拋光墊。 由於經(jīng)過特殊處理,能夠承受酸度和鹼度,從而產(chǎn)生一致且有效的拋光作用和均勻拋光的表面。 適用於拋光鋁,鎳等各種金屬盤,提供高質(zhì)量的拋光表面,可有效避免損傷,橙皮等缺陷。
SURFIN 001-01是屬於最終拋光的拋光墊。 由於聚氨酯短絨層是非常柔軟和微孔的,所以該拋光墊能夠產(chǎn)生高質(zhì)量的拋光錶面。
SURFIN SSW-2是與SURFIN 001-01相比,提供了一種麂皮類型的拋光墊,可用於縮短拋光時(shí)間。此類拋光皮可在短時(shí)間內(nèi)提高被拋物之優(yōu)質(zhì)的表面,沒有霧度,可用於矽晶片,GaAs和InP的最終拋光工藝。
SURFIN 191是與GaAs和Si一起使用的最終拋光墊,特別是產(chǎn)生高質(zhì)量的無霧表面。 SURFIN 191的泡沫層和底布與粘合劑粘合在一起,與通過其它方法製造的常規(guī)墊相比,質(zhì)量的一致性顯著提高。
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