半導(dǎo)體離子注入技術(shù)是一種材料表面改性高新技術(shù),在半導(dǎo)體材料摻雜,金屬、陶瓷、高分子聚合物等的表面改性上獲得了極為廣泛的應(yīng)用,在當代制造大規(guī)模集成電路中是一種必不可少的手段。
離子注入的優(yōu)點是能精確控制雜質(zhì)的總劑量、深度分布和面均勻性,而且是低溫工藝(可防止原來雜質(zhì)的再擴散等),同時可實現(xiàn)自對準技術(shù)(以減小電容效應(yīng))。
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