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    擴(kuò)散爐爐體

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):

    半導(dǎo)體加工設(shè)備耗材-爐類設(shè)備耗材

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    15天

    庫(kù)       存:

    1

    產(chǎn)       地:

    全國(guó)

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    減少 增加

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    1.00
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    品牌:

    型號(hào):

    所屬系列:半導(dǎo)體加工設(shè)備耗材-爐類設(shè)備耗材

    1)爐絲:加熱絲采用英國(guó)KANTHAL,A-1牌號(hào),Ф8mm爐絲,可多年長(zhǎng)期工作在1290℃的高溫下,加熱爐絲采用三段——九段控溫結(jié)構(gòu),加熱纏繞等特殊技術(shù)和模具,確保了繞制爐絲時(shí)爐絲直徑的均勻度。

    2)絕緣子:絕緣子的功能是,一方面要保證爐絲匝間間距的均勻性,因?yàn)樗苯佑绊懞銣貐^(qū)參數(shù)。另一方面爐絲需要靠絕緣子支撐,以保證高溫使用情況下不下塌。為了保證在有限長(zhǎng)度的爐體上獲得更長(zhǎng)的恒溫區(qū),采用多種間距的絕緣子(理論依據(jù):?jiǎn)味渭訜釥t體溫度在爐體長(zhǎng)度上呈正態(tài)分布,多段加熱爐體內(nèi)溫度可以使用迭加原理計(jì)算)。絕緣子還利用拉條技術(shù)用多條微型爐絲來支撐絕緣子防止?fàn)t絲變形及下塌,具體分布設(shè)計(jì)幾條要看爐體內(nèi)徑大小設(shè)計(jì)。

    3)保溫材料:保溫材料的材質(zhì)和保溫材料的包裝工藝是爐體的又一個(gè)極其重要的關(guān)鍵技術(shù),根據(jù)爐體的具體使用要求來進(jìn)行設(shè)計(jì)和計(jì)算。選擇美國(guó)摩根公司含鋯塞拉纖維針刺毯,這種保溫材料纖維長(zhǎng),纖維直徑小,容重合適,氣孔率高,主要成分為AL2O3,雜質(zhì)少,保溫隔熱性能優(yōu)越。在包裝工藝上,嚴(yán)格按照“無縫”包裝的要求,通過工裝來實(shí)現(xiàn)包裝松緊、稀密程度,最終保證爐體外殼溫度不高于100度。膨脹變形在高溫1300度以內(nèi)變形正負(fù)0.2mm,控制溫度精度:正負(fù)0.5度、單點(diǎn)控制精度正負(fù)0.5度。

    如果車間設(shè)備過多,建議用戶使用水冷爐體,可以使?fàn)t體外表皮溫度降到常溫要求。

    4)外殼:選用304不銹鋼磨砂板。外殼上裝有電極引線板和熱偶座。一個(gè)是超溫保護(hù)熱偶座。另外還有標(biāo)注爐體參數(shù)的名牌

    5)把口環(huán):把口環(huán)的功能有二:一是保溫隔熱,二是承載石英管。因此要求它不但具有保溫隔熱性能好,而且要有一定的機(jī)械強(qiáng)度。本項(xiàng)目采用輕質(zhì)陶瓷纖維材料制作,避免裂縫和卷曲。真空技術(shù)制作。

    6)擋風(fēng)管:擋風(fēng)管是安裝在爐體和排毒箱之間的過度連接,材質(zhì)與把口環(huán)相同。

    7)保質(zhì)期一年,具體使用壽命24小時(shí)/1000度以內(nèi)4年左右。

    以上描述的是加熱體的基本概述及簡(jiǎn)單數(shù)據(jù),具體數(shù)據(jù)還要根據(jù)客戶的要求和現(xiàn)有的爐體尺寸定做。

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