有諦工業(yè)科技(上海)有限公司提供符合EIT-SEMIF51標(biāo)準(zhǔn)的FFKM全氟橡膠,F(xiàn)EP包覆和PEEK聚醚醚酮材料制成的各種半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)密封元件。
半導(dǎo)體設(shè)備,半導(dǎo)體材料以及IC封測產(chǎn)業(yè)包括晶圓制造,晶圓傳輸,蝕刻,CMP,CVD等相關(guān)設(shè)備工藝需要使用超高純,低污染,低滲透,耐腐蝕,耐化學(xué)介質(zhì),耐等離子特性及壓縮變形冷流功能優(yōu)異的密封元件。其中典型應(yīng)用包括閥門O型圈,
門密封,腔密封以及橡膠金屬腔體硫化連接。