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    漢鐘干式螺桿泵

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):

    半導(dǎo)體輔助設(shè)備-真空泵

    產(chǎn)品品牌

    漢鐘(Hanbell)

    規(guī)格型號:

    PS

    發(fā)貨期限:

    7天

    庫       存:

    100

    產(chǎn)       地:

    中國-廣東省

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價       格:

    面議
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    品牌:漢鐘(Hanbell)

    型號:PS

    所屬系列:半導(dǎo)體輔助設(shè)備-真空泵

     漢鐘(HANBELL)干式螺桿泵主要特點:

    一、排氣路徑短,減少反應(yīng)物沉積

       干式螺旋真空泵相較于其他形式的真空泵,因氣體于泵內(nèi)的傳輸路徑最短,最不易產(chǎn)生反應(yīng)物沉積的現(xiàn)象。

    二、線性密封性佳,泵浦性能最優(yōu)

        專利轉(zhuǎn)子密封線性,轉(zhuǎn)子密封性佳,轉(zhuǎn)子能以較大的齒合間隙達到更快的抽氣效果。由于齒合間隙較大,泵浦較不易因制程氣體沉積而卡死,轉(zhuǎn)子也較不易因磨耗而需要換。

    三、結(jié)構(gòu)簡單,故障率低,維修容易

        螺旋式真空泵因只需利用一對轉(zhuǎn)子互相齒合達到密封效果,結(jié)構(gòu)上不像其他形式的真空泵需要有中間隔板的設(shè)計,減低轉(zhuǎn)子與隔板沉積卡死的風險。且因其結(jié)構(gòu)單純,拆解維修也較簡單,因此能縮短維修時程,降低維修費用。

    四、微電腦操作,遠端監(jiān)控,保護周全

        微電腦操控器提供真空泵浦最簡易的操作方式并能顯示泵浦完整的運轉(zhuǎn)狀態(tài),方便使用者對泵浦應(yīng)用進行調(diào)整,在泵浦產(chǎn)生問題前進行預(yù)防保養(yǎng)。遠端監(jiān)控系統(tǒng)能提供使用者方便的監(jiān)控工具,使用者不需到現(xiàn)場即能查詢泵浦的運轉(zhuǎn)狀況。

     

     

     

         漢鐘干式螺桿泵 廣泛應(yīng)用於面板、太陽能、冶金系統(tǒng)、鍍膜、電漿制程、干燥處理、制程氣體抽取、制程氣體抽取、生技/制藥、化工產(chǎn)業(yè)。

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