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    包郵 關(guān)注:9144

    晶圓研磨拋光機(jī)

    產(chǎn)品品牌

    MCF

    規(guī)格型號:

    GNAD系列

    庫       存:

    100

    產(chǎn)       地:

    英國

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價       格:

    面議
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    設(shè)備1MCF-3429

    具體設(shè)備詳情請咨詢專業(yè)銷售:  400-6988-696   
         
           GNAD系列高精度研磨拋光設(shè)備是MCF公司研制的覆蓋半導(dǎo)體材料,光電材料等應(yīng)用領(lǐng)域的精密磨拋設(shè)備。主要適用的材料包括:硅,砷化鎵,鈮酸鋰,光纖,碳化硅,藍(lán)寶石,碲鋅鎘等多種材料。

    設(shè)備結(jié)構(gòu)及功能

    GNAD系列精密研磨拋光機(jī)包括主機(jī),遠(yuǎn)程操控系統(tǒng),夾具,真空系統(tǒng),填料系統(tǒng),研磨拋光盤等。主機(jī)及所有的零備件均采用高防腐蝕材料,整機(jī)防腐,適用于多種半導(dǎo)體材料的化學(xué)機(jī)械研磨拋光。

    設(shè)備的功能參數(shù),可由獨(dú)立的遠(yuǎn)程操控系統(tǒng)控制。遠(yuǎn)程操控系統(tǒng)可根據(jù)用戶工藝等具體要求選擇無線或有線方式控制主機(jī)。
          
           夾具配備晶片研磨厚度在線監(jiān)測裝置,數(shù)字顯示,監(jiān)測精度≤1um,夾具自身對晶片的壓力連續(xù)可調(diào)。真空系統(tǒng)通過抽真空的方式將樣品直接吸附在樣品固定裝置底面。根據(jù)不同工藝要求,真空系統(tǒng)可以直接吸附樣品或者直接吸附貼有樣品的玻璃基板。

    自動填料系統(tǒng)可根據(jù)不同的工藝要求,調(diào)整滴料速度,并在研磨料用完同時自動停機(jī),以防止沒有研磨料時對樣品產(chǎn)生的損傷。

    設(shè)備可支持雙多通道進(jìn)料系統(tǒng)同時工作,實(shí)現(xiàn)化學(xué)研磨拋光等各種復(fù)雜的工藝。

    設(shè)備的擺臂配置樣品水平轉(zhuǎn)動驅(qū)動系統(tǒng),大大提升了磨拋效率的同時,也更好的控制樣品平整度。

    GNAD系列磨拋機(jī)具有實(shí)時在線監(jiān)控磨拋盤溫度變化和冷卻選配功能。盤溫接近預(yù)設(shè)溫度警戒值,設(shè)備會自動啟動冷卻功能,保持磨拋盤在工藝要求的溫度范圍內(nèi)運(yùn)轉(zhuǎn)工作。

    設(shè)備參數(shù)
           電源:                 240V、10A  / 110V、10A 
           晶圓尺寸:         GNAD60   6”/150mm x 3
           工作盤直徑:     GNAD60  300mm-420mm
           盤轉(zhuǎn)速:             0-120rpm 
           擺臂擺動頻率: 0-30spm
           工作時間:         0-10小時

           MCF公司可根據(jù)用戶需求,提供完整的工藝方案,同時定制匹配方案的設(shè)備機(jī)型。詳情請聯(lián)系銷售代表。

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    提問:
     

    請問該設(shè)備研磨精度最大能達(dá)到什么程度

    yirongwei1994918  2017-06-30

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的相關(guān)同類產(chǎn)品:

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