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    BGS6341型電子薄膜應(yīng)力分布測試儀系列

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

    半導(dǎo)體器件-激光類產(chǎn)品

    產(chǎn)品品牌

    BGS6341

    發(fā)貨期限：

    再議天

    庫       存：

    100

    產(chǎn)       地：

    中國-北京市

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

    面議
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    品牌：BGS6341

    型號：

    所屬系列：半導(dǎo)體器件-激光類產(chǎn)品

     主要用途、功能及特點

    該儀器是為解決微電子、光電子科研與生產(chǎn)中基片平整度及薄膜應(yīng)力分布的測試而設(shè)計的。它通過測量每道工序前后基片面形的變化（變形）來測量曲率半徑的變化及應(yīng)力分布，從而計算薄膜應(yīng)力。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體器件工藝研究及質(zhì)量控制，為改善半導(dǎo)體器件可靠性提供測試數(shù)據(jù)。

    本儀器適用于測量Si、Ge、CaAs等半導(dǎo)體材料的基片平整度，以及氧化硅、氮化硅、鋁等具有一定反光性能的薄膜的應(yīng)力分布。

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