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    BGS6341型電子薄膜應力分布測試儀系列

    應用于半導體行業(yè):

    半導體器件-激光類產品

    產品品牌

    BGS6341

    發(fā)貨期限:

    再議天

    庫       存:

    100

    產       地:

    中國-北京市

    數       量:

    減少 增加

    價       格:

    面議
    交易保障 擔保交易 網銀支付

    品牌:BGS6341

    型號:

    所屬系列:半導體器件-激光類產品

     主要用途、功能及特點

    該儀器是為解決微電子、光電子科研與生產中基片平整度及薄膜應力分布的測試而設計的。它通過測量每道工序前后基片面形的變化(變形)來測量曲率半徑的變化及應力分布,從而計算薄膜應力。廣泛應用于半導體器件工藝研究及質量控制,為改善半導體器件可靠性提供測試數據。

    本儀器適用于測量Si、Ge、CaAs等半導體材料的基片平整度,以及氧化硅、氮化硅、鋁等具有一定反光性能的薄膜的應力分布。

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