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    包郵 關(guān)注:331

    射頻電源、射頻自動(dòng)匹配器

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):

    半導(dǎo)體器件-儀器儀表

    產(chǎn)品品牌

    K-mate

    規(guī)格型號(hào):

    VERG-1000/VENA-1000

    發(fā)貨期限:

    5個(gè)工作日天

    庫       存:

    20

    產(chǎn)       地:

    中國-廣東省

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價(jià)       格:

    面議
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付

    品牌:K-mate

    型號(hào):VERG-1000/VENA-1000

    所屬系列:半導(dǎo)體器件-儀器儀表

     針對(duì)低功率、載行應(yīng)用,VERG® 系列射頻電源小巧、輕便,擁有空冷式設(shè)計(jì)。高質(zhì)量的組件和較少的零件數(shù)量使可靠性和產(chǎn)品生命周期均實(shí)現(xiàn)最優(yōu)化,從而使您的投資和制程生產(chǎn)力得到最大化的利用。一個(gè)直觀、快捷的操作菜單(可在該組件的多功能前面板上切換,并顯示在一個(gè)128 x 64像素的液晶顯示屏上)帶來了無比的便利性——提高了操作人員的效率,并使培訓(xùn)成本最小化。

    VENA系列自動(dòng)匹配器用于真空鍍膜、等離子刻蝕、等離子清洗、物理氣象沉積,化學(xué)氣象沉積,磁控濺射,以及太陽能制造設(shè)備PECVD等設(shè)備當(dāng)中,主要功能是實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)匹配,解決了現(xiàn)在國內(nèi)真空鍍膜設(shè)備中的一個(gè)技術(shù)空缺;具有自動(dòng),快速,可靠,高效,準(zhǔn)確,節(jié)省人力和時(shí)間等特點(diǎn)??蛇x的射頻系統(tǒng)檢測(cè)模塊可實(shí)時(shí)檢測(cè)出系統(tǒng)的正反功率、駐波比、射頻信號(hào)峰值電壓、電流、直流偏置電壓等,從而使您能夠發(fā)現(xiàn)并顯著降低制程變化性。

    優(yōu)勢(shì)

    ●性能安全可靠,長(zhǎng)時(shí)間工作穩(wěn)定
    ●實(shí)時(shí)反射功率測(cè)量與控制
    ●優(yōu)化設(shè)計(jì)、安裝、使用與維修十分簡(jiǎn)便
    ●傳輸效率高,運(yùn)行噪音小
    ●屏蔽效果好
    ●可外接匹配控制盒,與其他射頻功率發(fā)生器配合使用

    特點(diǎn)

    ●加強(qiáng)了鍍膜與刻蝕工藝的控制
    ●優(yōu)化的匹配算法加速匹配時(shí)間
    ●最大限度地減少駐波比與反射功率
    ●嚴(yán)格的可靠性測(cè)試


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