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    包郵 關(guān)注:420

    射頻電源、射頻自動匹配器

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

    半導(dǎo)體器件-儀器儀表

    產(chǎn)品品牌

    K-mate

    規(guī)格型號：

    VERG-600\VENA-600

    發(fā)貨期限：

    5個工作日天

    庫       存：

    20

    產(chǎn)       地：

    中國-廣東省

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

    面議
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    品牌：K-mate

    型號：VERG-600\VENA-600

    所屬系列：半導(dǎo)體器件-儀器儀表

    VERG\VENA系列射頻電源及自動匹配器用于真空鍍膜、等離子刻蝕、等離子清洗、物理氣象沉積，化學(xué)氣象沉積，磁控濺射，以及太陽能制造設(shè)備PECVD等設(shè)備當(dāng)中，主要功能是實現(xiàn)全自動匹配，解決了現(xiàn)在國內(nèi)真空鍍膜設(shè)備中的一個技術(shù)空缺；具有自動，快速，可靠，高效，準(zhǔn)確，節(jié)省人力和時間等特點?？蛇x的射頻系統(tǒng)檢測模塊可實時檢測出系統(tǒng)的正反功率、駐波比、射頻信號峰值電壓、電流、直流偏置電壓等，從而使您能夠發(fā)現(xiàn)并顯著降低制程變化性。

    優(yōu)勢

    ●性能安全可靠，長時間工作穩(wěn)定
    ●實時反射功率測量與控制
    ●優(yōu)化設(shè)計、安裝、使用與維修十分簡便
    ●傳輸效率高，運行噪音小
    ●屏蔽效果好
    ●可外接匹配控制盒，與其他射頻功率發(fā)生器配合使用

    特點

    ●加強了鍍膜與刻蝕工藝的控制
    ●優(yōu)化的匹配算法加速匹配時間
    ●最大限度地減少駐波比與反射功率
    ●嚴(yán)格的可靠性測試

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