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半導體專用溫控裝置系列產品
CHILLER PRODUCTS
半導體專用溫控裝置(Chiller)主要用于半導體制程中對反應腔室溫度的精準控制,主要由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機和控制系統(tǒng)構成的一個自我平衡的循環(huán)裝置,屬于生產過程中的溫控設備; 研發(fā)人員在常規(guī)PID控制算法的基礎上加入了預測控制技術和自適應控制技術,顯著地提高了chiller的穩(wěn)定性、控制精度和響應速度。
產品特點:
加載情況下控溫精度優(yōu)于±0.3℃,可在-20℃~90℃任意工況切換,具有良好的溫度跟隨性;
采用先進的節(jié)能技術,利用變頻器實現(xiàn)壓縮機和水泵的節(jié)能減耗;
設備具有故障、性能自診斷功能,并可實現(xiàn)遠程診斷及維修;
先進的密封技術,減少循環(huán)液的泄漏及揮發(fā);
符合SEMI標準和CE標準,可根據客戶需求定制產品;
應用領域:
半導體、LCD、LED
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