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    半導體專用溫控裝置系列產品

    庫       存：

    1000

    產       地：

    中國-北京市

    數       量：

    減少 增加

    價       格：

    面議
    交易保障 擔保交易 網銀支付

    品牌：

    型號：

    所屬系列：半導體輔助設備-恒溫、加熱輔助設備

     

    半導體專用溫控裝置系列產品

    CHILLER PRODUCTS


    半導體專用溫控裝置（Chiller）主要用于半導體制程中對反應腔室溫度的精準控制，主要由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機和控制系統(tǒng)構成的一個自我平衡的循環(huán)裝置，屬于生產過程中的溫控設備； 研發(fā)人員在常規(guī)PID控制算法的基礎上加入了預測控制技術和自適應控制技術，顯著地提高了chiller的穩(wěn)定性、控制精度和響應速度。


     

    產品特點：http://1659642520.bj.wezhan.cn/Content/editors/ueditor/themes/default/images/spacer.gif 

    • 加載情況下控溫精度優(yōu)于±0.3℃，可在-20℃～90℃任意工況切換，具有良好的溫度跟隨性；

    • 采用先進的節(jié)能技術，利用變頻器實現(xiàn)壓縮機和水泵的節(jié)能減耗；http://1659642520.bj.wezhan.cn/Content/editors/ueditor/themes/default/images/spacer.gif

    • 設備具有故障、性能自診斷功能，并可實現(xiàn)遠程診斷及維修；http://1659642520.bj.wezhan.cn/Content/editors/ueditor/themes/default/images/spacer.gif 

    • 先進的密封技術，減少循環(huán)液的泄漏及揮發(fā)；http://1659642520.bj.wezhan.cn/Content/editors/ueditor/themes/default/images/spacer.gif 

    • 符合SEMI標準和CE標準，可根據客戶需求定制產品；

     

    應用領域：


    半導體、LCD、LED

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