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    包郵 關(guān)注:459

    半導(dǎo)體專用溫控裝置系列產(chǎn)品

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

    半導(dǎo)體輔助設(shè)備-恒溫、加熱輔助設(shè)備

    庫(kù)       存：

    1000

    產(chǎn)       地：

    中國(guó)-北京市

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價(jià)       格：

    面議
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付

    品牌：

    型號(hào)：

    所屬系列：半導(dǎo)體輔助設(shè)備-恒溫、加熱輔助設(shè)備

     

    半導(dǎo)體專用溫控裝置系列產(chǎn)品

    CHILLER PRODUCTS


    半導(dǎo)體專用溫控裝置（Chiller）主要用于半導(dǎo)體制程中對(duì)反應(yīng)腔室溫度的精準(zhǔn)控制，主要由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機(jī)和控制系統(tǒng)構(gòu)成的一個(gè)自我平衡的循環(huán)裝置，屬于生產(chǎn)過(guò)程中的溫控設(shè)備； 研發(fā)人員在常規(guī)PID控制算法的基礎(chǔ)上加入了預(yù)測(cè)控制技術(shù)和自適應(yīng)控制技術(shù)，顯著地提高了chiller的穩(wěn)定性、控制精度和響應(yīng)速度。


     

    產(chǎn)品特點(diǎn)：http://1659642520.bj.wezhan.cn/Content/editors/ueditor/themes/default/images/spacer.gif 

    • 加載情況下控溫精度優(yōu)于±0.3℃，可在-20℃～90℃任意工況切換，具有良好的溫度跟隨性；

    • 采用先進(jìn)的節(jié)能技術(shù)，利用變頻器實(shí)現(xiàn)壓縮機(jī)和水泵的節(jié)能減耗；http://1659642520.bj.wezhan.cn/Content/editors/ueditor/themes/default/images/spacer.gif

    • 設(shè)備具有故障、性能自診斷功能，并可實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程診斷及維修；http://1659642520.bj.wezhan.cn/Content/editors/ueditor/themes/default/images/spacer.gif 

    • 先進(jìn)的密封技術(shù)，減少循環(huán)液的泄漏及揮發(fā)；http://1659642520.bj.wezhan.cn/Content/editors/ueditor/themes/default/images/spacer.gif 

    • 符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)和CE標(biāo)準(zhǔn)，可根據(jù)客戶需求定制產(chǎn)品；

     

    應(yīng)用領(lǐng)域：


    半導(dǎo)體、LCD、LED

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    服務(wù)熱線

    4001027270

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