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電子比例閥是一種電磁驅(qū)動(dòng)的比例控制閥，用于閉環(huán)回路流量或壓力控制系統(tǒng)。此產(chǎn)品是質(zhì)量流量控制器中重要的組成部分，是給氣體質(zhì)量流量控制器提供流量控制的部位。當(dāng)與流量傳感器或壓力傳感器及電子比例控制器配套使用時(shí)，可以穩(wěn)定、精確地控制氣體流量或壓力。EPC為直流型供電的常閉閥，包括一個(gè)彈性閥座，保證氣密性關(guān)斷截止。無(wú)論是流量或壓力的控制，都具有寬泛的Cv流量系數(shù)范圍。

電磁截止閥是電路控制閥的開(kāi)關(guān)，用于開(kāi)啟或關(guān)斷通道。具有反應(yīng)快、密封性好的特點(diǎn)。

設(shè)計(jì)特點(diǎn)：

●相比質(zhì)量流量控制器此產(chǎn)品低價(jià)位

●潔凈型，適用于分析儀器

●量程比大于50：1 （質(zhì)量流量控制器可達(dá)到100：1）

●多種電子和機(jī)械結(jié)構(gòu)

●便于定制

●低電流消耗

●氣密性關(guān)斷截止

電氣連接：

12VDC或24VDC電源使用

先和連接電阻：75-85歐姆

線感應(yīng)：25mH

功率消耗：0.8瓦（典型）

材質(zhì)

主體：不銹鋼

孔：不銹鋼

閥組件：不銹鋼

O型環(huán)和閥座：Buna N.乙烯.丙烯，KalrezTM Neoprene or Viton TM

過(guò)程接口：銅或不銹鋼

流量規(guī)格(N2標(biāo)定)	0～5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM
流量規(guī)格(N2標(biāo)定)	0～1,2,3,5,10,20,30 SLM
最大耐壓	3MPa
工作壓差范圍	0.1～0.5MPa (≤10SLM)
工作壓差范圍	0.1～0.3MPa (＞10SLM)
對(duì)外單點(diǎn)泄漏率	≤1×10-9Pa·m3/S(He)
密封材料	丁腈橡膠NBR，三元乙丙橡膠EPDM，氯丁橡膠CR，硅橡膠VMQ,氟橡膠FKM
供電電源	0～12VDC，0～15VDC
管道接頭尺寸	雙卡套型接頭：3/8”、 1/2” 或φ8、φ10、φ12 mm

電磁比例閥/截止閥

應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

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