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    超高精度影像測(cè)量?jī)xVIEW Precis 200

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):

    半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備-光學(xué)類測(cè)試-其他

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    VIEW

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    1

    產(chǎn)       地:

    美國(guó)

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    品牌:VIEW

    型號(hào):

    所屬系列:半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備-光學(xué)類測(cè)試-其他


    全新的Precis 200 是基于Micro-Metric的Innova晶圓量測(cè)系統(tǒng)開發(fā)而來,集成了VIEW最先進(jìn)的設(shè)計(jì)和技術(shù)。新的PRECIS包括許多可配置的選項(xiàng),使該系統(tǒng)更加通用、實(shí)用和可靠:

    擴(kuò)展Z軸范圍-2.5mm,5mm或100 mm.

    透射照明

    完整電子繪圖 – 完全符合 SEMI S2 和 CE 標(biāo)準(zhǔn)。

    符合人體工程學(xué)的操作員控制臺(tái) ,帶有隱藏鍵盤托盤, 可調(diào)節(jié)高度和角度的控制面板和顯示器,符合SEMI S8

    全自動(dòng)程序控制顯微鏡

    兆像素分辨率攝像頭

    VIEW Metrology Software (VMS™) 可以測(cè)量的零件類型很廣泛, 可選CAD導(dǎo)入 以及完整的幾何尺寸和公差判定。

    MMWin – Wafer和Mask測(cè)量軟件 –晶圓的重要尺寸和迭置重合測(cè)量, slider ABS,光掩模和平板顯示器。

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