德國(guó)Mecwins 掃描式激光分析儀SCALA
工作原理:
它是用激光入射掃描樣品表面,收集反射信號(hào)得到樣品表面的三維形貌和特征。
工作原理
SCALA 掃描式激光分析儀
SCALA掃描式激光分析儀是模塊式的。包括一個(gè)光學(xué)掃描器,安裝于溫度濕度都可控的腔室里?;九渲每蓪?shí)現(xiàn)二維輪廓的靜態(tài)特征,及通過(guò)熱噪聲和單點(diǎn)測(cè)量來(lái)確定的諧振頻率。除了基本配置,SCALA還可配備如下三個(gè)工作模塊:
· 動(dòng)態(tài)模塊
o 動(dòng)態(tài)模塊可以測(cè)量任何振動(dòng)器件的全譜響應(yīng),無(wú)論是依靠熱激勵(lì)或者是外力激勵(lì)(壓電驅(qū)動(dòng))。SCALA同時(shí)能提供機(jī)械振動(dòng)的實(shí)時(shí)成像。如:機(jī)械傳感器的動(dòng)態(tài)特性可以用一個(gè)簡(jiǎn)單且用戶友好的方式測(cè)得。
· 液體測(cè)量模塊
o SCALA 可以靜態(tài)或者動(dòng)態(tài)地表征處于液體環(huán)境中的MEMS傳感器。測(cè)量腔的大小可根據(jù)用戶要求定制。PEEK液體樣品池設(shè)有液體進(jìn)口和出口可以通過(guò)您選擇的外部傳輸系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)液體的流動(dòng)
· (3D)三維成像模塊
o 利用激光掃描功能,可測(cè)量反射率和在z軸方向亞納米精度的三維表面形貌圖。
SCALA掃描式激光分析儀特點(diǎn):
· 靜態(tài)和動(dòng)態(tài)都可測(cè)量
· 非接觸式測(cè)量,可測(cè)液體環(huán)境下的物質(zhì),且靜態(tài)和動(dòng)態(tài)都可測(cè)量
· 不需要特別的反射率,對(duì)于幾乎透明的材料都能獲得很好的測(cè)量結(jié)果,如SU8膠。
· 可專門針對(duì)研究納米機(jī)械傳感器,如懸臂梁,橋,薄膜等
· 無(wú)需聚焦得到圖像,可測(cè)不平度比較大的表面。
· 基于Labview的專用用戶友好性軟件
· 基于反射強(qiáng)度模式識(shí)別算法的TRACKER技術(shù)讓表征變得簡(jiǎn)單
· 與AMF對(duì)比:
Z方向與AFM一樣,都能獲得亞納米分辨率
在水平方向的分辨率不如AFM,SCALA只能達(dá)到微米分辨率,但可測(cè)大面積樣片
· 與輪廓儀對(duì)比:
輪廓儀測(cè)不了動(dòng)態(tài)特性及液體環(huán)境,且它需要高反射率。
· 與白光干涉儀對(duì)比:
白光干涉儀測(cè)量快,分辨率高,但得不到動(dòng)態(tài)特性,當(dāng)樣品表面不平度比較大時(shí),白光干涉儀無(wú)法聚焦。SCALA無(wú)需聚焦,可測(cè)大面積樣片。
· 與振動(dòng)計(jì)對(duì)比:
振動(dòng)計(jì)只用于測(cè)動(dòng)態(tài)特性,且他們必須人工來(lái)找到每個(gè)器件(如每個(gè)懸臂梁),SCALA自動(dòng)找到器件,且能測(cè)量的頻率很高,可達(dá)1MHz,SCALA動(dòng)態(tài)靜態(tài)特性都能測(cè)。
傳感測(cè)試原理
懸臂梁是目前人們正在研發(fā)的典型MEMS傳感器。工作模式可以是靜態(tài)(偏轉(zhuǎn))模式:在懸臂梁一側(cè)產(chǎn)生非平衡表面應(yīng)力就可以得到一個(gè)可測(cè)的向上或向下的偏轉(zhuǎn)信號(hào),或者是動(dòng)態(tài)(諧振)模式:通過(guò)增加懸臂梁質(zhì)量來(lái)改變懸臂梁的諧振頻率從而產(chǎn)生一個(gè)可測(cè)的相位移。基于懸臂梁的器件已經(jīng)被用于探測(cè)氣體,化學(xué)、生物體的高靈敏度多功能傳感器。
TRACKER技術(shù)
表面特性或MEMS器件的定位和表征(如懸臂或者橋式傳感器)可以通過(guò)TRACKER輕松獲得,這是一種基于反射強(qiáng)度模式識(shí)別的算法。用戶可以利用SCALA的這一功能來(lái)全自動(dòng)表征單個(gè)傳感器或者傳感器陣列。這種算法可以識(shí)別商用或者自制的機(jī)械傳感器。
SCALA 掃描式激光分析儀應(yīng)用領(lǐng)域:
SCALA可對(duì)各種各樣的實(shí)驗(yàn)提供測(cè)量手段,是一臺(tái)可用于多種領(lǐng)域的儀器,無(wú)論是MEMS的特征檢測(cè),還是臨床分析。
生物芯片
SCALA使用懸臂陣列對(duì)生物分子的監(jiān)測(cè),比使用微陣列靈敏度高100倍
|
|
監(jiān)測(cè)MEMS的特征
在時(shí)域和頻域下生成三維圖像的能力
|
|
生物醫(yī)藥
DNA/蛋白質(zhì)檢測(cè),細(xì)菌類別,藥物研發(fā)
|
|
材料
表面精糙度和不平度。
|
食品科學(xué)
食品安全和質(zhì)量控制
|
潛在用戶
• 學(xué)術(shù)界:研究中心和大學(xué)
• MEMS研究
• 生物傳感器:癌癥檢測(cè),DNA, 氣體探測(cè)和標(biāo)記
• 大分子特性:聚合物的特征
• MEMS,NEMS和納米傳感器加工:質(zhì)量控制和器件的設(shè)計(jì)過(guò)程
|