網(wǎng)站首頁

|EN

當(dāng)前位置: 首頁 » 設(shè)備館 » 半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備 » 其他測(cè)試設(shè)備類 »Filmetrics 薄膜厚度測(cè)量系統(tǒng)F20,F(xiàn)30,F(xiàn)40,F(xiàn)50,F(xiàn)60
    包郵 關(guān)注:354

    Filmetrics 薄膜厚度測(cè)量系統(tǒng)F20,F(xiàn)30,F(xiàn)40,F(xiàn)50,F(xiàn)60

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):

    半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備-其他測(cè)試設(shè)備類

    產(chǎn)品品牌

    美國(guó)Filmetrics

    庫       存:

    1

    產(chǎn)       地:

    全國(guó)

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價(jià)       格:

    面議
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付

    品牌:美國(guó)Filmetrics

    型號(hào):

    所屬系列:半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備-其他測(cè)試設(shè)備類

     
    Filmetrics 薄膜厚度測(cè)量系統(tǒng)F20,F(xiàn)30,F(xiàn)40,F(xiàn)50,F(xiàn)60,F(xiàn)3-XXT
     
    詳細(xì)介紹



    Filmetrics
    是厚度測(cè)量系統(tǒng)的制造商。Filmetrics的厚度和回縮指數(shù)可以在不到一秒的時(shí)間內(nèi)測(cè)量。像Filmetrics的所有儀器一樣,例如F20型號(hào)連接到用戶Windows計(jì)算機(jī)的USB端口并在幾分鐘內(nèi)設(shè)置。


    只需一次點(diǎn)擊,我們就可以通過分析薄膜如何反射光來測(cè)量薄膜的厚度。通過測(cè)量人眼不可見的光,可以測(cè)量薄至1nm和厚至13mm的薄膜。而且,由于沒有移動(dòng)部件,結(jié)果可以在幾秒鐘內(nèi)獲得:薄膜厚度,顏色,折射率,甚至粗糙度

     


    薄膜厚度測(cè)量系統(tǒng)

     

    IMG_256

    IMG_256

    IMG_256

    IMG_256

     

     



    F20
    系列

    測(cè)量膜:平面,半透明,吸光膜。
    例如:SiO 2 SiNX DLC,光刻膠,多晶硅,

     

                                非晶硅,硅晶片
    基板:平坦,反射

     

    如果要獲得光學(xué)指數(shù),基板應(yīng)該是平坦的和反射的。如果襯底是透明的,則應(yīng)該進(jìn)行反射處理。

    基板:Si,AlGaAs,鋼,聚合物薄膜,

                              聚碳酸酯

     

    IMG_256

    IMG_256

    IMG_256

    IMG_256

     

     

    IMG_256

    IMG_256

     


      F20 厚度標(biāo)準(zhǔn)片:

    F20 厚度標(biāo)準(zhǔn)片 Rei-si-4:不帶氧化硅                        F20 厚度標(biāo)準(zhǔn)片Ts~Sio2-4-7200,帶氧化硅

    F30
    :集成薄膜厚度

    測(cè)量系統(tǒng)

    最強(qiáng)大的工具可用于監(jiān)測(cè)薄膜沉積。

    F30光譜反射系統(tǒng)實(shí)時(shí)測(cè)量沉積速率,薄膜厚度,光學(xué)常數(shù)(nk)以及半導(dǎo)體和介質(zhì)層的均勻性。

    IMG_256

    IMG_256

     



    F40
    :顯微鏡薄膜厚度
    測(cè)量系統(tǒng)

    F40產(chǎn)品系列適用于需要小至1微米的光點(diǎn)尺寸的應(yīng)用。對(duì)于大多數(shù)顯微鏡,F40只需連接到攝像機(jī)安裝的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)Cmount適配器。

    IMG_256

    IMG_256

     



    F50
    :自動(dòng)厚度測(cè)繪系統(tǒng)

    幾乎任何樣品形狀的厚度和指數(shù)的全自動(dòng)映射。手動(dòng)加載和機(jī)器人加載系統(tǒng)是可用的。

    IMG_256

    IMG_256

     



    F60
    :生產(chǎn)環(huán)境的自動(dòng)化厚度映射

    Filmetrics F60-t系列可以像我們的F50產(chǎn)品一樣映射薄膜厚度和索引,但是它還包含許多專門用于生產(chǎn)環(huán)境的功能。其中包括自動(dòng)缺口查找,自動(dòng)機(jī)載基線測(cè)量,帶運(yùn)動(dòng)互鎖的封閉式測(cè)量平臺(tái),預(yù)裝軟件的工業(yè)計(jì)算機(jī)以及升級(jí)到完全自動(dòng)化晶圓處理的選項(xiàng)。

     

    不同的F60-t儀器主要根據(jù)厚度和波長(zhǎng)范圍進(jìn)行區(qū)分。通常需要較短波長(zhǎng)(例如F60-t-UV)來測(cè)量較薄的膜,而較長(zhǎng)的波長(zhǎng)允許測(cè)量更厚,更粗糙和更不透明的膜。

    IMG_256

    IMG_256

    IMG_256

    IMG_256

     

     

     


    F3 - XXT
     

    F3-XXT專門設(shè)計(jì)用于測(cè)量非常厚的層,尤其是粗糙的表面,例如在IC故障分析的硅背面去除中經(jīng)常遇到的表面。使用UPG-RT-to-Thickness軟件模塊,可以在幾分之一秒內(nèi)測(cè)量5μm1000μm厚的硅。視頻成像可以與SampleCam-XXT一起添加。

     

    XY8自動(dòng)階段可以添加自動(dòng)XY映射功能。自動(dòng)對(duì)焦選項(xiàng)也可用。

    為了測(cè)量更薄的層(小于0.1μm),可以添加可見波長(zhǎng)光譜儀。

    與我們所有的厚度測(cè)量?jī)x器一樣,F3連接到Windows™計(jì)算機(jī)的USB端口,并在幾分鐘內(nèi)完成設(shè)置。 IMG_256 

    咨詢

    購買之前,如有問題,請(qǐng)向我們咨詢

    提問:
     

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的相關(guān)同類產(chǎn)品:

    服務(wù)熱線

    4001027270

    功能和特性

    價(jià)格和優(yōu)惠

    微信公眾號(hào)