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    德國Klocke Nanotech納米級三維測量儀3D Nanofinger

    應用于半導體行業(yè):

    半導體測試設備-其他測試設備類

    產(chǎn)品品牌

    德國Klocke

    庫       存:

    1

    產(chǎn)       地:

    全國

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價       格:

    面議
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    品牌:德國Klocke

    型號:

    所屬系列:半導體測試設備-其他測試設備類

     

    德國Klocke Nanotech納米級三維測量儀3D Nanofinger

     


     

    納米級三維測量儀(3D Nanofinger)俗稱納米三坐標,是一種實用的納米精度坐標和形貌綜合測量設備。由臺架、控制系統(tǒng)、探頭、針尖組成. 可測量樣品外形尺寸,表面輪廓、粗糙度等,并可與超精密微加工、微組裝系統(tǒng)組合,進行在線檢測、質量控制等。系統(tǒng)可以根據(jù)樣品設定測量路徑,測量范圍達到厘米級甚至更大?,F(xiàn)已廣泛應用于超精密機械加工、MEMS器件、半導體微電子加工、光學、分子生物學和精密工程。

     

     

    工作原理:

    · Nanofinger傳感器是一個小的MEMS器件,用來監(jiān)測針尖和樣品之間的距離。這個距離小于10nm時,傳感器檢測到針尖和樣品之間的范德華力。此過程針尖跟樣品沒有接觸,即沒有任何損傷。

    · Nanofinger的傳感器由一個特殊的,帶寬為幾kHz的高速電子控制系統(tǒng)驅動,閉環(huán)控制朝向樣品運動,增量為1nm直至達到理想的信號值(如,放大倍數(shù)為75%)。這時,位置信息以坐標數(shù)據(jù)信息存儲下來。傳感器繼續(xù)運動,到達下一位置,任何時候,都是1nm增量的閉環(huán)控制。同時,在X.Y和Z方向都可以實現(xiàn)厘米的運動行程。

    · 所有運動方向都實現(xiàn)1nm運動分辨率。線掃描后非常容易地獲得三維圖像。

    應用靈活:

    · 3D-Nanofinger可以作為一個模塊,應用到其他系統(tǒng)中。

    · 可以構建成一個獨立的納米級三維測量儀。

    · 可以與Klocke公司的機械臂組合,安裝在SEM/FIB系統(tǒng)中,進行三維測量。“實時的圖像位置”模塊引導Nanofinger輕松到達鼠標點擊的SEM圖像位置。

    設備主要參數(shù): 

    · 可選行程: 

    X = 20 or 50 mm2 

    Y = 20 or 50 mm2 

    Z = 10 or 20 mm2 

    采用花崗巖基底,XY方向行程擴展為: 100 x 100 mm2 or 350 x 350 mm2 

    · 測量特性: 

    運動分辨率: 1 nm

    針尖分辨率: 0.5 nm

    水平與豎直方向均配有操縱傳感器

    線形輪廓測量

    樣品內部與外部輪廓測量

    坐標測量功能

    · 測量用探針: 

    針尖型金屬絲, 尖端半徑 < 100 nm

    鉤型金屬絲, 尖端半徑< 100 nm

    圓形針尖, 直徑 0.12-0.3 mm

    金剛石針尖, 如用于表面壓痕

    · 軟件: 

    針尖自動校準與逼近

    2D 和 3D 圖形功能

    工序設置,實現(xiàn)復雜動作自動控制(選項)

    應用圖例:

    · 輪廓測量 

    二維和三維輪廓和表面精糙度參數(shù)

    TFT LCD顯示行業(yè)的金字塔結構

    · 外形測量 

    沿內部及外部形狀

    1.4 mm直徑的內螺紋

    · 尺寸測量 

    確定物體的方位和尺寸

     

    鉆床和磨床上使用的刀具刃部的三維圖像

     

     

     

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