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美國 SONIX超聲波掃描顯微鏡

封裝檢測設(shè)備
　

　

ECHO-LS™

　

ECHO-VS™

SonIX ECHO VS™ 是專為更高精度要求，更復(fù)雜元器件設(shè)計的新一代設(shè)備。廣泛應(yīng)用在 Flip chips，Stacked die，Bumped die，Bonded wafers 等。

● 高分辨率下，掃描速度是傳統(tǒng)超聲波掃描顯微鏡的2.5倍
● 獨有的波形模擬器(Waveform Simulator)及波束仿真(Beam Emulator)
● 掃描分辨率小于1微米
● 水溫控制系統(tǒng)及紫外殺菌系統(tǒng)超高頻狀態(tài)工作下，信號更穩(wěn)定



　

ECHO Pro™
全自動超聲波掃瞄顯微鏡

全自動生產(chǎn)型:

● 批量 Tray盤和框架直接掃瞄
● 編程自動判別缺陷
● 高產(chǎn)量,無需人員重復(fù)設(shè)置
● 自動烘干

晶圓檢測設(shè)備
　

　

AutoWafer Pro™

SonIX AutoWafer Pro™ 是專為全自動晶圓檢測設(shè)計的機(jī)型，主要應(yīng)用在Bond wafer，MEMS 內(nèi)部空洞、離層檢測，TSV量測方面。

● 使用于200和300mm晶圓
● 符合一級凈化間標(biāo)準(zhǔn)
● Cassette裝載，全自動檢測，支持FOUP或FOSB機(jī)械臂
● 支持200mm & 300mm SECS/GEM協(xié)議
● KLARF輸出文件

　

Pulse 2™ 信號發(fā)生器/接收器
- 適合所有 ECHO & AutoWafer 設(shè)備

　

　

● 相對標(biāo)準(zhǔn)的信號發(fā)生器/接收器可獲得 +12dB
● SNR比例(Signal-to-noise Ratio)具備4x 倍進(jìn)展
● 從低層次的背景噪聲中分隔信號
● 產(chǎn)生干凈，清晰的圖像，即使在超高頻的信號轉(zhuǎn)換器



　

　

超聲波探頭 - 適合所有 ECHO 系列
　

　

Sonix S-series Transducer 超聲波探頭是為了滿足半導(dǎo)體制造商的高要求而設(shè)計的:-

● 自家研發(fā)
● 頻率范圍寬闊
● 結(jié)構(gòu)堅固

SONIX™公司是世界500強(qiáng)丹納赫集團(tuán)(NYSE: DHR)下的全資子公司，是全球超聲波掃描檢測儀和無損檢測設(shè)備的領(lǐng)先制造商。自1986年成立以來，SONIX™在無損檢測領(lǐng)域中不斷改革創(chuàng)新，是第一家基于微機(jī)平臺，提供全數(shù)字化成像方案的公司。 SONIX™ 一直致力于技術(shù)革新，提供給客戶最領(lǐng)先的聲學(xué)檢測技術(shù)。

SONIX™ 設(shè)備被廣泛應(yīng)用于各種材料的無損檢測，包括半導(dǎo)體，汽車零件和其他先進(jìn)元件。擁有獨立開發(fā)的軟件，硬件和專利技術(shù)，這么多年來通過和客戶的不斷合作，實現(xiàn)了SAM技術(shù)的持續(xù)改進(jìn)。 SONIX™ 努力提供最準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)，完美的圖像質(zhì)量，非凡的操作性和設(shè)備的高可靠性，從而為客戶提高效率，節(jié)約成本。

SonIX 軟件優(yōu)勢

● 可編程掃描，自動分析
定制掃描程序，一鍵開始掃描，自動完成分析，生成數(shù)據(jù)