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    三坐標(biāo)測量儀

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

    半導(dǎo)體測試設(shè)備-其他測試設(shè)備類

    產(chǎn)品品牌

    思瑞

    規(guī)格型號(hào)：

    1050*1535*2247

    發(fā)貨期限：

    1-2周天

    運(yùn)費(fèi)說明：

    包郵

    庫       存：

    10

    產(chǎn)       地：

    中國-廣東省

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價(jià)       格：

    ￥100000.00
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    品牌：思瑞

    型號(hào)：1050*1535*2247

    所屬系列：半導(dǎo)體測試設(shè)備-其他測試設(shè)備類

       • 先進(jìn)的全鋁技術(shù)，橫梁與Z軸采用表面硬質(zhì)陽極化航空鋁合金，溫度一致性更佳；

      并降低了運(yùn)動(dòng)部件的重量和測量機(jī)在高速運(yùn)行時(shí)的慣性，保證高速高精度；

    • 三軸導(dǎo)軌均采用高精度自潔式空氣軸承，運(yùn)動(dòng)更平穩(wěn)，導(dǎo)軌不易磨損

    • 三軸均采用高精度歐洲進(jìn)口光柵尺，系統(tǒng)分辨率可達(dá)0.078um；

      同時(shí)采用一端固定，一端自由伸縮的方式安裝，減少了光柵尺的變形，保證在溫度變化時(shí)的線性伸縮

    • X向采用精密60°三角梁技術(shù)，相比矩形橫梁，重心更低，質(zhì)量剛性比更佳，運(yùn)動(dòng)更加可靠

    • Y軸采用整體燕尾式導(dǎo)軌，在降低機(jī)器重量的同時(shí)，有效消除了運(yùn)動(dòng)扭擺，保證了測量精度和穩(wěn)定性

    • Z向采取氣動(dòng)平衡技術(shù)，采用柔性懸掛系統(tǒng)，避免了軸向運(yùn)動(dòng)和傳動(dòng)系統(tǒng)之間的干涉問題，

      提高了測量機(jī)的精度和長期穩(wěn)定性

    • 各運(yùn)動(dòng)軸均采用直流伺服驅(qū)動(dòng)+增強(qiáng)型同步帶，確保運(yùn)動(dòng)的平穩(wěn)和準(zhǔn)確定位

    • 采用?？怂箍禐镃roma專業(yè)打造的IDC-Ⅰ控制系統(tǒng)，21項(xiàng)誤差空間修正技術(shù)和自動(dòng)調(diào)諧功能，保證了機(jī)器的動(dòng)態(tài)性能和測量精度

    • 軟件為PC-DMIS BASIC (PC-DMIS PREMIUM)，功能強(qiáng)大，易學(xué)

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