服務(wù)熱線
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一、 MEMS工藝服務(wù)
IntelliSense可以為客戶提供完整的MEMS設(shè)計(jì)與加工服務(wù),我們將專業(yè)的MEMS設(shè)計(jì)軟件IntelliSuite與實(shí)際工藝相結(jié)合可以為您提供更專業(yè)更優(yōu)質(zhì)的服務(wù)。
二、工藝案例(一)用于氣體流量傳感器的鎳敏芯片制成工藝
1.版圖設(shè)計(jì) 2.模型設(shè)計(jì)分析 3.芯片制作 4.封裝測試◆ 應(yīng)力可控薄膜制作工藝
◆ 厚度小于1微米網(wǎng)狀氮氧化硅薄膜(最小厚度可達(dá)750nm)
◆ 高TCR:大于5000ppm/℃
◆ 鎳材料的淀積改性
◆ 細(xì)線條刻蝕
(二)基于多種材料和工藝的微流控芯片制造技術(shù)
1.版圖設(shè)計(jì) 2.模型設(shè)計(jì)分析 3.工藝制作 4.完成檢查測試
關(guān)鍵工藝:
◆ 硅基溝道,玻璃基溝道,PDMS溝道制作工藝
◆ 多種金屬電極制作(腐蝕/lift-off工藝)
◆ 多層/多種鍵合技術(shù)
◆ 多種模具制作工藝(SU-8 材料,硅材料等)
◆ PDMS-玻璃鍵合技術(shù)
◆ 玻璃打孔、帶介質(zhì)層的陽極鍵合技術(shù)
商家資料
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