鳳鳴亮提供晶元硅片非接觸激光在線厚度檢測(cè)服務(wù)

發(fā)表于：2022-06-02  作者：szgxcljs  關(guān)注度：296

 鳳鳴亮提供晶元硅片非接觸激光在線厚度檢測(cè)服務(wù)

一、導(dǎo)論

自60年代激光產(chǎn)生以后，其高方向性和高亮度的優(yōu)越性就一直吸引著人們不斷探索它在各方面的應(yīng)用，其中，工業(yè)生產(chǎn)中的非接觸、在線測(cè)量是非常重要的應(yīng)用領(lǐng)域，它可以完成許多用接觸式測(cè)量手段無(wú)法完成的檢測(cè)任務(wù)。普通的光學(xué)測(cè)量在大地測(cè)繪、建筑工程方面有悠久的應(yīng)用歷史，其中距離測(cè)量就是利用幾何學(xué)的三角測(cè)量。在80年代末90年代初，人們開(kāi)始將激光與三角測(cè)量的原理相結(jié)合，形成了激光三角測(cè)距儀。與建筑工程中使用的長(zhǎng)距離激光相位法測(cè)距儀相比，激光三角測(cè)距儀的優(yōu)點(diǎn)是精度高，不需要使用反射鏡作為對(duì)準(zhǔn)目標(biāo)，即激光直接照射在被測(cè)物體表面，且不受被測(cè)物的材料、質(zhì)地、型狀、反射率的限制，從白色到黑色，從金屬到陶瓷、塑料都可以測(cè)量，沒(méi)有放射性物質(zhì)，操作安全，因此，在制造業(yè)中，絕大多數(shù)場(chǎng)合的短距離精密測(cè)距，以及由測(cè)距轉(zhuǎn)化的測(cè)厚、測(cè)位置等需求都是可以滿足的！
二、應(yīng)用領(lǐng)域：
激光三角精密非接觸位移長(zhǎng)度測(cè)量?jī)x器既可廣泛應(yīng)用于幾何量（位置、位移、厚度、半徑、形狀等）的工業(yè)測(cè)量——特別是非接觸在線測(cè)量，也可以擴(kuò)展應(yīng)用于許多物理量（如溫度、重量、壓力、容積等等）的測(cè)量，只要設(shè)法將這些物理量通過(guò)適當(dāng)?shù)姆椒ㄞD(zhuǎn)化為微位移量即可。

LTG-680激光測(cè)厚儀是一種采用激光三角測(cè)距原理進(jìn)行薄膜、半導(dǎo)體材料測(cè)厚，薄板等厚度非接觸在線測(cè)量的精密儀器，可替代各種射線測(cè)厚儀。由于采用了雙鏡頭光路共面陣CCD相機(jī)技術(shù)，不但消除了傳統(tǒng)雙激光三角位移傳感器測(cè)厚儀所存在的上下測(cè)頭數(shù)據(jù)不同步誤差，提高了生產(chǎn)線上薄膜、薄板存在抖動(dòng)時(shí)的厚度測(cè)量精度；本產(chǎn)品特殊的折疊光路實(shí)現(xiàn)了寬幅掃描，且可方便地根據(jù)用戶的需求定制任意寬度幅面薄膜測(cè)厚的專用機(jī)型。

中實(shí)際使用的板厚測(cè)量技術(shù)有卡尺、超聲波法測(cè)厚儀、電渦流法測(cè)厚儀、放射線法測(cè)厚儀，其中卡尺、超聲波法測(cè)厚儀是操作人員手工接觸板材進(jìn)行測(cè)量，故只能等軋制完成后停在傳輸線上才能進(jìn)行，因此是非在線測(cè)量；電渦流法測(cè)厚儀由于受板材表面干凈程度和表面化學(xué)雜質(zhì)影響很大，因此誤差很大；放射線法測(cè)厚儀在過(guò)去曾應(yīng)用較廣，但因存在射線對(duì)操作工人的健康危害，導(dǎo)致白血病、癌癥等職業(yè)疾病，因此，這些企業(yè)多已將放射線法測(cè)厚儀拆下、不用了。 

LTG-680型激光測(cè)厚儀由于采用了雙鏡頭光路共面陣CCD相機(jī)技術(shù)，不但消除了傳統(tǒng)雙激光三角位移傳感器測(cè)厚儀所存在的上下測(cè)頭數(shù)據(jù)不同步誤差，提高了生產(chǎn)線上薄膜、薄板存在抖動(dòng)時(shí)的厚度測(cè)量精度；本產(chǎn)品特殊的折疊光路實(shí)現(xiàn)了寬幅掃描，且可方便地根據(jù)用戶的需求定制任意寬度幅面薄膜測(cè)厚的專用機(jī)型。本產(chǎn)品可廣泛應(yīng)用于各種電池

三、主要功能：
1、厚度顯示;
2、自動(dòng)反饋控制;激光膜厚儀具有RS-232標(biāo)配。
3、電腦屏幕顯示,操作方便快捷; 
4、密碼保護(hù),系統(tǒng)自診斷功能;

四、主要效益：
1、為操作工人開(kāi)啟了信息窗,時(shí)刻知道當(dāng)前產(chǎn)品的質(zhì)量情況;
2、很好地節(jié)約原材料;
3、產(chǎn)品質(zhì)量, 減少?gòu)U品率;
4、縮短換產(chǎn)品開(kāi)車時(shí)間,提生產(chǎn)線的生產(chǎn)力;
5、降低單位產(chǎn)量能耗;
6、提產(chǎn)品的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力;
7、有效地進(jìn)行生產(chǎn)管理和考核;

五、技術(shù)參數(shù)：
1、測(cè)量成分：只要被測(cè)物具備光學(xué)慢反射的光學(xué)特性就可以測(cè)量，換言之：只要人眼睛可以看見(jiàn)就可以測(cè)量
2、光學(xué)測(cè)量距離（激光光源離被測(cè)物距）：90mm
3、取樣面積：0。04mm（直徑）
4、光學(xué)主機(jī)（探頭重量）：16kg
5、外殼（標(biāo)準(zhǔn)型）：合金鋁
6、電源：220VAC（50/60Hz）
7、工作溫度：0-35℃
六、輸出： 

測(cè)量范圍：0 mm≤厚≤36mm；0 mm≤寬≤680mm
備選輸出：4-20mA，以太網(wǎng)，RS-232,RS-422/485，數(shù)字輸入（1組），數(shù)字輸出（1組）
備選通訊協(xié)議：Profibus,以太網(wǎng)，Modbu