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    半導體封裝工藝 玻璃基材 光敏玻璃

    應用于半導體行業(yè):

    半導體原材料-其它材料-光學玻璃

    產(chǎn)品品牌

    德國肖特 SCHOTT

    庫       存:

    1000

    產(chǎn)       地:

    全國

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價       格:

    1000.00
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    品牌:德國肖特 SCHOTT

    型號:

    所屬系列:半導體原材料-其它材料-光學玻璃

     光敏玻璃晶圓

    FOTURAN® II 光敏玻璃是由FOTURAN® 改進而來。該玻璃采用連熔法生產(chǎn),具有極佳的質(zhì)量均一性。

    FOTURAN® II 是一款技術光敏玻璃。該光敏玻璃經(jīng)過紫外曝光以及熱處理后會析出晶體,這些析晶區(qū)域在酸腐蝕之后可以形成高深寬比的細小結(jié)構和通孔。再經(jīng)過二次曝光和熱處理,玻璃基體可以發(fā)生相變形成玻璃陶瓷。此外,陽極鍵合對該款玻璃也是可能的。

    帶結(jié)構的FOTURAN® II 材料可以應用于半導體芯片和半導體封裝工藝。該工藝流程只需要標準的半導體加工設備即可,不再需要使用光刻膠。




    優(yōu)勢
    • 高度質(zhì)量均一性:先進的熔制工藝確保光敏性均一且具高度重現(xiàn)性
    • 極其細小的微結(jié)構尺寸并具有高的深寬比
    • 無需光刻膠即可制作微結(jié)構
    • 極佳的透光特征(同時表現(xiàn)在可見區(qū)和非可見區(qū))
    • 生物兼容性:耐溫,化學穩(wěn)定
    • 環(huán)境友好:符合EU-RoHS 和 EU-REACH規(guī)定
    • 悠久的應用歷史:既有超過30年的使用歷史,又有大量關于加工工藝的最新出版物可查

    應用
     
    • 半導體:中介板
    • 通訊:光波導/光互聯(lián) 
    • MEMS 傳感器:基板和功能元件
    • 射頻應用:中介板,基板和功能元件
    • 微流體:實驗室單晶片,微反應器和打印頭
    • 微光學: 微光學元件
     

    FOTURAN® II 供貨規(guī)格:

    供應形式-晶圓 (標準格式)*
    尺寸 6“ 和 8“
    厚度 0.5 mm - 1 mm
    * 其他供應形式和規(guī)格根據(jù)客戶要求而定

    技術細節(jié)
     
    機械性能
     
    密度ρ (g /cm3 ) 2.37
    努普硬度 HK 0.1/20 480
    維氏硬度 HV 0.2/25 520
    熱學性能
     
    玻璃化轉(zhuǎn)變溫度 Tg ( °C ) 455
    平均線性熱膨脹系數(shù) α (20 °C到 300°C    之間) (10–6 K –1 ) (統(tǒng)計結(jié)果) 8.49
    熱導率λ  (W / (m*K))(ϑ = 90 °C) 1.28
    電學性能 (玻璃態(tài))
     
     
     
     
    頻率 1 MHz 1 GHz 2 GHz 5 GHz
    介電常數(shù) (Permittivity) εr 6.8 6.4 6.4 6.3
    介電損耗因子tan δ (*10–4) 69 84 90 109
    化學性能
     
     
     
          Class
    耐水性(基于DIN ISO 719) (μg) Na2O/g 578 HGB 4
    耐酸性 (基于DIN 12116) mg/dm2 0.48 S 1
    耐堿性 (基于DIN ISO 695) mg/dm2 100 A 2
    光學性能
     
     
    波長(nm) 折射率 ( 經(jīng)40 °C/h降溫速率退火)  
    300.0 1.549  
    486.1 1.518 nF
    546.1 1.515 ne
    587.6 1.512 nd
    656.3 1.510 nC

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    你好,這個材料可以做黑白兩色的標定板嗎,聯(lián)系電話18606274150,微信同號

    yezibaxll  2022-10-09

    你好,這個材料可以做黑白兩色的標定板嗎,聯(lián)系電話18606274150,微信同號

    yezibaxll  2022-10-09

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    4001027270

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