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SUSS 蘇斯光刻機用曝光燈HBO 200W/DC
SUSS光刻機用曝光燈HBO 200W/DC 系列
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| 詳細介紹 |
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SUSS MicroTecv美國蘇斯公司生產的半導體和太陽能行業(yè)用光刻機，目前得到業(yè)界的廣泛認同，該系列光刻機曝光系統(tǒng)的曝光燈，主要是由德國歐司朗公司生產的曝光燈進行配套供應。歐司朗曝光燈系列，具備良好的光通量，穩(wěn)定的光強度以及優(yōu)質的品質受到業(yè)界的青睞。目前供蘇斯光刻機配套的相關參數(shù)如下：
HBO® short-arc mercury varour lamps for microlithography
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Lamps for SÜSS Equipment
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Lamp type
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Max life[h]
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Equipment(適用機型）
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HBO 200W/DC
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1000
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MJB3,MJB4
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HBO 350W/S
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600
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MA4,MA6,MA8,MA150,MJB3,MJB21,UV300/500
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HBO 1000W/D
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1000
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MA150,MA200,MA4,MA6,MA8
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HBO 5000W/S
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1000
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MA300
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以下是歐司朗曝光燈的技術參數(shù)：
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