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SUSS光刻機用曝光燈HBO 200W/DC 系列
SUSS光刻機曝光燈HBO 200W，HBO350W,HBO1000W,HBO5000W.doc

詳細介紹

SUSS MicroTecv美國蘇斯公司生產(chǎn)的半導體和太陽能行業(yè)用光刻機，目前得到業(yè)界的廣泛認同，該系列光刻機曝光系統(tǒng)的曝光燈，主要是由德國歐司朗公司生產(chǎn)的曝光燈進行配套供應(yīng)。歐司朗曝光燈系列，具備良好的光通量，穩(wěn)定的光強度以及優(yōu)質(zhì)的品質(zhì)受到業(yè)界的青睞。目前供蘇斯光刻機配套的相關(guān)參數(shù)如下：

　　HBO® short-arc mercury varour lamps for microlithography

Lamps for SÜSS Equipment	Lamp type	Max life[h]	Equipment(適用機型）
	HBO 200W/DC	1000	MJB3,MJB4
	HBO 350W/S	600	MA4,MA6,MA8,MA150,MJB3,MJB21,UV300/500
	HBO 1000W/D	1000	MA150,MA200,MA4,MA6,MA8
	HBO 5000W/S	1000	MA300

以下是歐司朗曝光燈的技術(shù)參數(shù)：

SUSS光刻機用曝光燈HBO 200W/DC 系列

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