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    CXS系列旋轉(zhuǎn)沖洗甩干機

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

    半導(dǎo)體清洗設(shè)備-甩干機-多片甩干機

    庫       存：

    10

    產(chǎn)       地：

    全國

    數(shù)       量：

    減少 增加

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    面議
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    品牌：

    型號：

    所屬系列：半導(dǎo)體清洗設(shè)備-甩干機-多片甩干機

    CXS系列旋轉(zhuǎn)沖洗甩干機主要用于硅圓片、光刻版等類似材料的高潔凈度沖洗及干燥工藝，適用于2-12英寸晶圓，LXS系列旋轉(zhuǎn)沖洗甩干機主要用于材料加工、太陽能電池片、分立器件等行業(yè)、單臺產(chǎn)量大、效率高。

    采用高性能可編程控制器實現(xiàn)邏輯控制

    采用彩色液晶漢顯監(jiān)控，可存儲百種用戶工藝菜單

    結(jié)構(gòu)采用潔凈化處理技術(shù)

    去離子水電阻率監(jiān)控

    防靜電控制

    氮氣溫度控制

    腔體溫度控制

    轉(zhuǎn)軸氮氣密封

    無刷電機驅(qū)動

    旋轉(zhuǎn)載體定位

    故障診斷，顯示及報警

    CXS系列型號說明

    CXS系列型號特征與設(shè)備性能、功能的對應(yīng)關(guān)系


        




     



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