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    華林科納新型高效廢氣處理系統(tǒng)

    應用于半導體行業(yè):

    半導體輔助設備-氣體類輔助設備-廢氣處理

    產(chǎn)品品牌

    南通華林科納

    庫       存:

    50

    產(chǎn)       地:

    全國

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價       格:

    面議
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    品牌:南通華林科納

    型號:

    所屬系列:半導體輔助設備-氣體類輔助設備-廢氣處理

     主要功能:本設備主要采用手動搬運方式,通過對擴散、外延等設備的石英管、碳化硅管腐蝕、漂洗等方式進行處理,從而達到一個用戶要求的清洗效果。主體采用德國勞士領 瓷白PP板,骨架采用不銹鋼 外包PP 防腐板;

    1.1.1 設備名稱:半自動石英管清洗機

    1.1.2 設備型號:CSE-SC-N401

    1.1.3 整機尺寸(參考):4500mm*1500mm*2100mm;

    1.1.4 被清洗爐管尺寸(Max):

    也可清洗其它可放入清洗槽中的石英器皿等被清洗物

    1.1.5 設備形式:室內(nèi)放置型;

    1.1.6節(jié)拍:約1--12小時(節(jié)拍可調(diào)根據(jù)實際工藝時間而定)         

    1.1.7 操作形式:半自動

    1.2 設備描述

    l 此裝置是一個半自動的處理設備。

    PROFACE 8.0英寸大型觸摸屏顯示 / 檢測 / 操作

    l 清洗工作過程由三菱 / 歐姆龍PLC控制。

    1.3 設備特

    l 腐蝕漂洗能力強,性能穩(wěn)定,安全可靠;

    l 設備成本合理,自動化程度高,使用成本低;

    l 技術先進,結構合理,適宜生產(chǎn)線上大批次操作;

    l 結合華林科納公司全體同仁之力,多年品質(zhì)保障,使其各部分遠遠領先同類產(chǎn)品;

    l 設備上層電器控制系統(tǒng)及抽風系統(tǒng),中層工作區(qū),下層為管道安裝維修區(qū),主體結構由清洗機主體、酸洗槽、水清洗槽、防漏盤、抽風系統(tǒng)、工件滾動系統(tǒng)、氮氣鼓泡系統(tǒng)、支撐及旋轉驅(qū)動機構、管路部分、電控部分。

    l 本設備裝有雙防漏盤結構,并有防漏檢測報警系統(tǒng),在整臺設備的底部裝有接液盤。

    l 設備配有在槽體下方配有傾斜式防漏層。

    1.4工藝流程:

    檢查水、電、氣正常→啟動電源→人工上料→注酸→槽體底部氮氣鼓泡→石英管轉動(7轉/min)→進入酸泡程序→自動排酸(到儲酸箱)→槽體底部自動注水(同時氣動碟閥關閉)→懸浮顆粒物經(jīng)過溢流壩流出→排水碟閥打開(重顆粒雜質(zhì)排出)→初級潔凈水經(jīng)過溢流壩溢出→清洗次數(shù)重復循環(huán)(人工控制)→下料。

     酸洗和水洗在同一槽內(nèi)完成

     1#,2#可通過循環(huán)泵循環(huán)使用

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