特點:
Phemos 微光顯微鏡是設(shè)計用于檢測故障檢測和地位半導體器件內(nèi)產(chǎn)生的熱信號。 熱發(fā)射圖像可以疊加在紅外光譜共焦激光生成的高分辨率圖像上,因此很容易確定故障位置精度高。
1、可選配適用于高分辨率、高靈敏度觀測的納米透鏡和紅外共焦激光顯微鏡
2、可安裝300mm雙面半自動探針
3、紅外-光致阻值改變(IR-OBIRCH)分析功能(選配)
4、低電壓樣品用高靈敏度近紅外相機(選配)
5、數(shù)字lock-in組件加強紅外-光致阻值改變的檢測能力(選配)
主要應用:
1、氧化層中微等離子泄露
2、金屬布線短路
3、PC板和器件的溫度映射
4、氧化層擊穿
5、反常接觸孔
6、在研發(fā)過程中觀察器件溫度異常
7、定位TFT-LCD/有源電致發(fā)光器件泄露位置