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URE-2000/35型光刻機(jī)

1．技術(shù)特征——非常適合工廠（效率高，操作傻瓜型，自動(dòng)化程度高）和高校教學(xué)科研（可靠性好，演示方便）

采用自動(dòng)找平，具備真空接觸曝光、硬接觸曝、壓力接觸曝以及接近式曝光四種功能，自動(dòng)分離對(duì)準(zhǔn)間隙和消除曝光間隙，采用350W進(jìn)口（德國(guó)）直流汞燈，可調(diào)節(jié)光的能量密度。設(shè)備外形美觀精制，性能非?？煽?，自動(dòng)化程度很高，操作十分方便。

2．技術(shù)參數(shù)

l曝光面積：4英寸

l曝光波長(zhǎng)：365nm

l分辨力：1mm（膠厚2 mm的正膠）

l對(duì)準(zhǔn)精度：±0. 8mm

l掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)范圍：X：15mm;Y:15mm

l掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸

l樣片尺寸：直徑f10mm-- f100mm(各種不規(guī)則片)

厚度0.1mm--5mm(可擴(kuò)展為15mm)

l曝光方式：定時(shí)（倒計(jì)時(shí)方式）和定劑量

l具備真空接觸曝光、硬接觸曝光、壓力接觸曝光，以及接近式曝光四種功能

l照明不均勻性： 3%（f100mm 范圍）

l雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡：既可通過(guò)目鏡目視對(duì)準(zhǔn)，也可通過(guò)CCD+顯示器對(duì)準(zhǔn)，光學(xué)合像，光學(xué)最大倍數(shù)400倍，光學(xué)+電子放大800倍

物鏡三對(duì)：4倍、10倍、20倍

目鏡三對(duì)：10倍、16倍、20倍

l調(diào)平接觸壓力通過(guò)傳感器保證重復(fù)

l數(shù)字設(shè)定對(duì)準(zhǔn)間隙和曝光間隙

l具備壓印模塊接口，也具備接近模塊接口

l掩模相對(duì)于樣片運(yùn)動(dòng)行程：

X: ±5mm; Y: ±5mm; q: ±6º

l最大焦厚：400mm（SU8膠，用戶提供檢測(cè)條件）

l光源平行性：3.5 º

l曝光能量密度：>20mW/cm2,照明面溫度<35 º

l單層曝光一鍵完成

l采用球氣浮自動(dòng)找平

l汞燈功率：350W（直流，進(jìn)口汞燈）

3．外形尺寸：1200mm（長(zhǎng)）´900mm(寬) ´1750mm（高）

4．交貨期：1.5月

紫外光刻機(jī)

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