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    包郵 關(guān)注:439

    管式氣氛爐/管式真空爐/管式電阻爐

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):

    半導(dǎo)體加工設(shè)備-爐類設(shè)備-氣氛爐

    庫       存:

    5

    產(chǎn)       地:

    全國

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價       格:

    面議
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     – TL1400 管式爐 – 

        這款管式爐以硅碳棒為加熱元件,采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和30 段程序控溫系統(tǒng),移相觸發(fā)、可控硅控制,爐膛采用 1600 型氧化鋁 多晶纖維材料,雙層爐殼間配有風(fēng)冷系統(tǒng),能快 速升降溫,99 剛玉管兩端用不銹鋼法蘭密封,用 流量計控制進(jìn)氣流量、該爐具有溫場均衡、表面 溫度低、升降溫速率快、節(jié)能等優(yōu)點(diǎn),是高校、科 研院所、工礦企業(yè)等做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD 實(shí)驗(yàn)、真空退火用的理想產(chǎn)品。

     

    組件配置:

    一、控溫儀表:                : 采用宇電程序控溫儀表

    1、30段程序控溫智能PID調(diào)節(jié)。

    2、具有過溫保護(hù)、斷偶保護(hù),過溫或斷偶時電爐加熱電路會自動切斷,(當(dāng)電爐溫度超過1420度或熱電偶

          燒斷時,主電路上的交流繼電器會自動斷開,主電路斷開,面板上ON燈熄滅,OFF燈亮,有限的保護(hù)電

          爐)。

    3、帶有485 通訊接口(選購軟件時標(biāo)配)

    4、具有斷電保護(hù)功能,即斷電后再給電啟動爐子時、程序不是從起始溫度開始升、而是從斷電時爐溫開始升。

    5、儀表具有溫度自整定的功能

    二、爐膛材料:采用日本進(jìn)口爐膛材料,不掉粉、材料保溫性能好、反射率高、溫場均衡,抗熱漲冷縮能力強(qiáng)。

    三、加熱元件: 采用Dia12mm直徑硅碳棒、硅碳棒直徑粗、表面負(fù)荷低, 使用使用長。

    四、漏電保護(hù)功能: 該爐裝了漏電空氣開關(guān),當(dāng)爐體漏電或電流超過額定電流時空開會自動關(guān)閉以切斷電源。

    五、軟件控制系統(tǒng)(選購):該爐配有通訊接口和軟件,可以直接通過電腦控制爐子的各個參數(shù),并能從電腦上

    觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運(yùn)行情況,爐子的實(shí)際升溫曲線電腦會實(shí)時繪出,并能把每個時刻的

    溫度數(shù)據(jù)保存起來,隨時可以調(diào)出。

    六、控制系統(tǒng):1、電器:正泰,    2、可控硅:德國西門空106/16E,    3 觸發(fā)器:移相觸發(fā)

    七、密封系統(tǒng): 該爐頂蓋和爐門(其他地方已經(jīng)焊接好)均采用硅膠O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復(fù)撤卸,

        氣密性好、可保證12小時壓力表指針不偏轉(zhuǎn)。

    八、真空系統(tǒng)(選購):  可配TW-1.5A真空泵和能夠抽到10-1Pa真空泵或能夠抽到10-4Pa德國進(jìn)口分子泵。

    九、供氣系統(tǒng)(選購):客戶可通過供氣系統(tǒng)上的浮子流量計或質(zhì)子流量計控制氣體的流速。

     

    各種規(guī)格尺寸:

    型號

    功率

    (kw)

    電壓

    (V)

    加熱區(qū)長度(mm)

    爐管

    尺寸

    額定

    溫度

    最高 溫度

    熱電偶型號

    加熱元件

    升溫速率

    TL1400-Ⅰ

    4

    220

    300

    Φ40×800

    1350℃

    1400℃

    S

    硅碳棒

    ≤20℃/min

    TL1400-Ⅱ

    4

    220

    300

    Φ60×1000

    1350℃

    1400℃

    S

    硅碳棒

    ≤20℃/min

    TL1400-Ⅲ

    4

    220

    300

    Φ80×1000

    1350℃

    1400℃

    S

    硅碳棒

    ≤20℃/min

    TL1400-IV

    6

    220

    300

    Φ100×1000

    1350℃

    1400℃

    S

    硅碳棒

    ≤20℃/min

    TL1400-V

    7

    220

    300

    Φ120×1000

    1350℃

    1400℃

    S

    硅碳棒

    ≤20℃/min

    (可以根據(jù)客戶的要求進(jìn)行定做)

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