石英
密度:2.20±0.02g/cm^3
透過率:≥92%@193nm;≥98%@248nm
光學(xué)均勻性:±(2-10)×10^-6
應(yīng)力雙折射:2-5nm/cm
石英
密度:2.20±0.02g/cm^3
透過率:≥92%@193nm;≥98%@248nm
光學(xué)均勻性:±(2-10)×10^-6
應(yīng)力雙折射:2-5nm/cm
尺寸 | 尺寸范圍 | 側(cè)垂 | 光潔度 | 面形 | 角度公差 | 光學(xué)平行差 | 通光孔徑 |
小 | 5×5-10×10mm | 1′ | 20/10-60/40 | λ/4-λ/10 | 2″-60″ | 2″-3′ | ≥90% |
中 | 20×20-50×50mm | 1′ | 20/10-60/40 | λ/4-λ/10 | 2″-60″ | 2″-3′ | ≥90% |
大 | 60×60-100×100mm | 1′ | 40/20-80/50 | λ/4-λ/10 | 2″-60″ | 2″-3′ | ≥90% |
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