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    包郵 關(guān)注:557

    氧化/擴(kuò)散爐系列應(yīng)用于集成電路,分立器件,光電子器件,電力電子器件

    產(chǎn)品品牌

    青島精誠(chéng)華旗

    規(guī)格型號(hào):

    氧化/擴(kuò)散爐系列

    庫(kù)       存:

    100

    產(chǎn)       地:

    中國(guó)-山東省

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價(jià)       格:

    10000.00
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付

    品牌:青島精誠(chéng)華旗

    型號(hào):氧化/擴(kuò)散爐系列

    所屬系列:半導(dǎo)體加工設(shè)備-爐類(lèi)設(shè)備-工業(yè)電爐

    擴(kuò)散爐,氧化擴(kuò)散爐產(chǎn)品應(yīng)用:應(yīng)用于集成電路、分立器件、光電子器件、電力電子器件、太陽(yáng)能電池等領(lǐng)域,適用2~8英寸工藝尺寸

    產(chǎn)品名稱(chēng): 氧化/擴(kuò)散爐系列    氧化/擴(kuò)散爐系列 name=
    應(yīng)用領(lǐng)域:半導(dǎo)體
    關(guān) 鍵 字:擴(kuò)散爐,氧化擴(kuò)散爐
    產(chǎn)品咨詢(xún)電話(huà):4008-110044
    產(chǎn)品詳細(xì)描述:
    產(chǎn)品應(yīng)用:應(yīng)用于集成電路、分立器件、光電子器件、電力電子器件、太陽(yáng)能電池等領(lǐng)域,適用2~8英寸工藝尺寸
    擴(kuò)散爐產(chǎn)品特點(diǎn):
    ◆工業(yè)計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng),對(duì)爐溫、進(jìn)退舟、氣體流量、閥門(mén)等動(dòng)作進(jìn)行自動(dòng)控制
    ◆采用懸臂送片器:操作方便、無(wú)摩擦污染等
    ◆關(guān)鍵部件均采用進(jìn)口,確保設(shè)備的高可靠性
    ◆工藝管路采用進(jìn)口閥門(mén)管件組成-氣密性好、耐腐蝕、無(wú)污染(管路均采用EP級(jí)電拋光管路),流量控制采用進(jìn)口質(zhì)量流量計(jì)(MFC)
    ◆控溫精度高,溫區(qū)控溫穩(wěn)定性好;
    擴(kuò)散爐主要技術(shù)指標(biāo)
    ◆工作溫度:200~1300℃
    ◆加熱體控制點(diǎn):3/5點(diǎn)
    ◆爐體恒溫區(qū):450mm/600mm/800mm/1100mm
    ◆恒溫區(qū)精度:>800℃/±0.5℃ ,<800℃/±1℃
    ◆單點(diǎn)溫度穩(wěn)定性:600~1300℃/ ±0.5℃/24h
    ◆最大可控升溫速度:15℃/min
    ◆最大降溫速度:5℃/min(900~1300℃)
    ◆供電:三相四線(xiàn),380VAC/50HZ
    ◆局部?jī)艋燃?jí):100級(jí)。
    ◆氧化系統(tǒng):干氧、濕氧(氫氧內(nèi)外點(diǎn)火)
    歡迎索取相應(yīng)詳盡的技術(shù)資料及共研相應(yīng)項(xiàng)目的解決方案。
     
    青島精誠(chéng)華旗微電子設(shè)備有限公司成立于1993年(青島華旗科技有限公司,2009年),為專(zhuān)業(yè)的IC集成電路及器件工藝、半導(dǎo)體材料(晶體生長(zhǎng)等)、半導(dǎo)體特氣及廢氣處理、精密真空熱處理爐(磁性材料等,成套)設(shè)備及解決方案的高科技研發(fā)制造企業(yè)。致力于為IC集成電路、功率器件、MEMS器件、LED、太陽(yáng)能電池、新材料等制造廠(chǎng)家及科研院所提供先進(jìn)的工藝設(shè)備(含成套設(shè)備及解決方案)。
        出色地完成了部分國(guó)家863項(xiàng)目(如GaN厚膜晶體生長(zhǎng)的HVPE系統(tǒng)、MOCVD系統(tǒng)等)等。
         GB/T19001-2008(ISO9001:2008)質(zhì)量管理體系認(rèn)證。
        主要產(chǎn)品:氧化擴(kuò)散爐系列、LPCVD 系統(tǒng)、PECVD系統(tǒng)、HVPE系統(tǒng)、MOCVD系統(tǒng)、RTP快速熱處理、氣瓶柜、半導(dǎo)體尾氣(廢)處理SCRUBBER,真空熱處理爐、鏈?zhǔn)綘t系列、擴(kuò)散爐體系列等。

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