應(yīng)用：
主要用于 6 英寸集成電路晶圓、太陽能電池、GPP 二極
管、GPP可控硅、其他Low-K材料的加工開槽
特征：
? 觸摸式教學(xué)式GUI，操作簡單便捷。
? 自動對準(zhǔn)、*刀痕檢測功能，提高生產(chǎn)效率。
? 大理石結(jié)構(gòu)穩(wěn)定度高，直線電機(jī)高精度高效率。
? 直光、環(huán)形光，工件觀察清晰。
? 加工狀態(tài)實(shí)時監(jiān)控。
? *工廠自動化模塊。
Automatic Laser Dicing Saw ALR4000
江蘇京創(chuàng)先進(jìn)電子科技有限公司
地址:江蘇省常熟市四海路 11 號科創(chuàng)園 2 號樓郵編：215513
電話:0512-52969660 傳真：0512-51929760 網(wǎng)址：www.jcxj.com.cn
京創(chuàng)先進(jìn)
■使用條件 •請將放置機(jī)械設(shè)備的房間室溫設(shè)定在20 ℃?25 ℃之間，并將波動范圍控制在±1 ℃以內(nèi)。 •其他，請避免設(shè)備受到撞擊及外界的有感振動。另外，請不要將設(shè)備安裝在鼓風(fēng)機(jī)、通風(fēng)口、產(chǎn)生高溫的裝置及產(chǎn)生油霧的裝置附近。
•本設(shè)備會使用水。萬一發(fā)生漏水影響，請把本設(shè)備安裝在有防水性之地板及有排水處理之場所。 •（*）為非標(biāo)準(zhǔn)配置。
ALR4000技術(shù)規(guī)格 最大工作物尺寸 mm ø 6", 成 6"方形※1
X軸 可切削范圍 mm 180
進(jìn)刀速度輸入范圍 mm/s 0.1 - 1000
Y軸 可切削范圍 mm 165
單步步進(jìn)量 mm 0.001
定位精度 mm
0.005 以內(nèi)/160 （單一誤差）0.002以內(nèi)/5
θ軸 最大旋轉(zhuǎn)角度 deg 320
轉(zhuǎn)角精度
15秒
激光器 額定輸出功率 W 20W
波長 nm 1064
劃線線寬 um 45-55
劃線深度 um 50-120
激光器壽命 小時 10萬
其他規(guī)格 電源 V
三相AC380V ±10％ 上述以外需配置變壓器
耗電量
加工時 kW 0.5（參考值）
暖機(jī)時 kW 0.3（參考值）
最大耗電量 kVA 3.2
排風(fēng)量 m3/min 1.5
設(shè)備尺寸（W × D × H） mm 600 × 900 × 1,600
設(shè)備重量 kg 約600
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