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關(guān)注:818
UnitySC (原Fogale) 晶圓厚度檢測(cè)設(shè)備
庫(kù) 存:
1000
產(chǎn) 地:
中國(guó)-江蘇省
產(chǎn)品特性:
- 專利的光學(xué)頭,搭配波長(zhǎng) IR1310 的探測(cè)頭,以非接觸的方式精準(zhǔn)量測(cè)待測(cè)物的位置及厚度。
- 結(jié)合同軸 IR 及白光顯微鏡,搭配波長(zhǎng) IR1310 的探測(cè)頭,觀測(cè)點(diǎn)即為量測(cè)點(diǎn),執(zhí)行編程更快速。
- 視客戶的需求,也可提供全自動(dòng)的機(jī)臺(tái),最大可量測(cè)的尺寸為2吋晶圓。
- 可搭配透視與反射 IR 光源,增加紅外線觀測(cè)功能。
- 可加裝 sensor 進(jìn)行薄膜及產(chǎn)品表面 3D profile 測(cè)量。
應(yīng)用方面:
- TSV 深度及寬度
- 薄化制程
- 堆疊制程
- 3D IC 對(duì)位
- 多層堆疊各夾層厚度量測(cè)
- Bump height
3D IC TSV 制程應(yīng)用:
- 矽穿孔TSV的形成:
利用白光顯微鏡可以正確找到孔位并直接進(jìn)行量測(cè)
- 后端制程:
透過(guò)IR可視化 實(shí)際觀測(cè) TSV 點(diǎn)位,并可以同時(shí)量測(cè)晶圓厚度、TSV、RST
- 晶片堆疊:
利用白光及 IR 的顯微鏡以檢測(cè)晶片缺陷及粗糙度量測(cè)
- 晶圓薄化:
量測(cè) TTV、Bow and Warp Bonding inspection 及 edge trimming
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